超純水粒子計数器

超純水（UPW）施設及び水洗浄システムの粒子監視と制御はますます多くのタイプの製造工業にとってますます重要になっている。例えば、フラットパネルディスプレイ（FPD）及びハードディスクドライブ（HDD）部品のような精密な製造技術の改良は、プロセス液体の0.1μm未満の汚染物質粒子を検出することが要求されている。

アナのUltrapure-100超純水粒子計数器脱イオン水応用における0.1μm粒子モニタリングの完全集積化の方案を提供する。故障の検出、監視、または核水洗浄システムの検査、または工場のUPW工場の重要な場所でのみ監視を行う必要がある場合でも、Ultrapure-100はオンラインプロセス分析のための有効で負担になる補充機器であることがわかります。

Ultrapure-100はすべての堅固な光-機械装置、計数と通信電子回線及び独特な流量制御システムを1台の機器に結合し、比較にならない性能を達成した。高油圧の応用、例えば脱イオン水施設のモニタリングにおいて、全体のシステム流速は1.0リットル/分を超える。このようにして、非常に速い洗浄と回復時間、および優れた流量調節が要求され、さらには動的な検出入口圧力下でも同様である。

Ultrapure-100は完全なシステムであり、既存の施設監視システム（FMS）またはビル管理システム（BMS）とのインストールが非常に容易である。また、Ultrapure-100は単独の機器として使用でき、多くのパッケージと互換性があります。

Ultrapure-100を組み合わせた使いやすいWindowsベース®インストールとシステム統合を迅速かつ容易にするための組版ツール。データチャネル数、サンプリング周期、および4-20 mAアナログ出力設定などは、特に要求されるように迅速に構成することができる.リアルタイムシステム診断保証日の完全性に問題はない。表記は完全にNIST基準にさかのぼることができる。

粒子カウントは一般的に全有機炭素（TOC）測定と相補的であり、Anaは半導体及びフラットパネルディスプレイ産業におけるTOCモニタリングの業界標準である.AnaのTOC分析システムは一連のモジュール化モジュールから構成され、任意の水システムに必要に応じて組み合わせて使用することができる。現在、粒子数があると、Anaの機器測定をさらに進めることで、高純水伝送システムの効率と生産性を高めることができます。

超純水粒子計数器主なパフォーマンス：

• 0.1および0.2μm標準粒子サイズ
• 0.1 ~ 5.0μmの範囲でカスタマイズ可能
• 4-20 mAアナログ出力
• 高流速-洗浄時間が非常に速い
• 一体化方案、メンテナンス量が少ない
• 優れた流量調節-「設置が終わったら放置」
• レーザ源診断
• 粒子カウントソフトウェアを提供することができる

パフォーマンス指標：

• 粒径チャネル（μm）0.1，0.2
• システム流速>1リットル/分
• サンプル流速100 ml/分（サンプル入口圧力を30〜100 psiに調整）
• 光源レーザダイオード
• サンプル入口圧力は100 psig（690 kPa）を超えない
  7.0 psig以上
• 温度動作7～40℃
  サンプル7〜40℃

ぶつりてきしひょう

• 電源90-260 VAC、50/60 Hz
• 消費電力は80 VA以下（100 V時0.8 A）
• I/Oインタフェースアナログ光電分離4-20 mA出力、（標準2チャンネル、オプション4チャンネル）
  RS-232設定時のシリアルポート
  電気I/Oは機器の底部に接続され、保
• 2チャネルまたは4チャネルのパーティクルカウントデータを表示する（ユーザーはオプション）
• ランプ電源、レーザー状況、漏れ状況
• 液体接続SS 1/4”Swagelok（サンプル入口と出口）
  がいぶりゅうりょうけい
• シェル塗装アルミニウムシェル
• 寸法305 mm長さx 203 mm幅x 190.5 mm深さ（12「x 8」x 7.5”）
• 相対湿度90%以下、結露しない

添付ファイルを含む

• 電源装置、ソフトウェア設定アプリケーション、1/4インチナイロンサンプル、排出管を含む
  電源コード、オペレータマニュアル
• オプションの壁マウントブラケット、データトレンドソフトウェア
  （詳細については、営業担当者にお電話ください）