二光子重合

交渉可能更新02/10

モデル

製造者の性質: プロデューサー

製品カテゴリー

原産地

オンラインコンサルト

概要

二光子重合3 D加工、二光子重合_ MPD：真三次元マスクレスリソグラフィ、高自由度ナノスケールの三次元構造製造を実現でき、最小特徴寸法は50 nmに達することができる。多くの分野の研究発展に優れた高精度、三次元製造ソリューションを提供し、応用分野はマイクロナノ光学装置、マイクロ/ナノ流体制御チップ、オンチップ光相互接続、マイクロ機械などを含むが、それに限らない。

製品詳細

二光子重合_MPD：真三次元マスクレスリソグラフィは、高自由度ナノスケールの三次元構造製造を実現でき、最小特徴寸法は50 nmに達することができる。多くの分野の研究発展に優れた高精度、三次元製造ソリューションを提供し、応用分野はマイクロナノ光学デバイス、マイクロ/ナノフロー制御チップ、チップ上の光相互接続、マイクロ機械などを含むが、これに限らない。

二光子重合_MPDパラメータ:

システムパラメータ		MPD-100サブシリーズ	MPD-1000サブシリーズ	MPD-2000サブシリーズ
横方向最小特徴寸法（nm）		XY≤80	XY≤80	XY≤50
横方向最小周期/分解能（nm）		XY≤300	XY≤300	XY≤200
スプライス精度（nm）		≤ 200
最高表面粗さ（nm）		≤5
注：上記の値は各パラメータの典型的な範囲であり、制限値ではありません。例：最小特徴寸法xy≦80 nm、実際に達成できる最小特徴寸法は80 nm以下である。
特色ある機能と配置（×-標準機は含まず、√-標準機配置、○-増配可能）		MPD-100サブシリーズ	MPD-1000サブシリーズ	MPD-2000サブシリーズ
高精度ピント合わせ	精度≦25 nm、シリコン、ガラス、サファイアなどの透明/不透明基板と互換性がある	√	√	√
焦点スポット/収差調整		×	○	√
3 D共焦点		×	○	○
3 Dアラインメント		×	○	○
マルチパラメトリックプレビュー		√	√	√
スクリプト機能		√	√	√
インテリジェント・ポリシー	1.輪郭/シェル-充填、 2.任意/カスタムシーケンスモード 3.動的焦点調整（階調） 4.適応スライス 5.ベクトル加工モード	√	√	√
治具/基板	1.金属、ガラス（石英）、サファイア、シリコンウェハなどを含むが、これらに限定されない 2.多種の基板固定モードに対応：吸着台、クランプ、磁気吸引 3.セット/カスタム化光ファイバ治具	√	√	√


焦点面モニタ		√	√	√
エネルギーモニタリング		√	√	√
アクセシビリティ	アンカーポイント、測定、マーキング、傾斜補償、回転など	√	√	√
レジスト/材料	1.自己研究二光子レジスト、HBP、PPI-DIP、HBO-2など 2.第三者二光子レジストと互換性がある、他の光硬化材料は、AZシリーズ、SU 8シリーズを含むが、これらに限定されない 3.生体適合性ヒドロゲル材料の印刷をサポートする 4.ガラス、PDMS及び各種前駆体フォトレジストを支持する	√	√	√
拡張機能1：オートサイズ		○	○	○
拡張機能2：蛍光共焦点		×	○	○
拡張3：マルチチャネル拡張		○	√	√
ハードウェア構成情報（×-標準マシンは含まれていません，√-標準マシン構成，○-増分可能）		MPD-100サブシリーズ	MPD-1000サブシリーズ	MPD-2000サブシリーズ
フォーカスシステム		標準配置：総合倍率66倍、NA 1.42。（その他の倍率及び需要はカスタマイズ可能）
フェムト秒レーザ		中心波長：515 nm/780 nm（オプション）平均電力：≥1 W パルス幅：≦200 fs 繰り返し周波数：80 MHz
シフトテーブル		XYZ行程：100mm×100mm×25mm
高精度Z軸		ストローク：75μm、精度：≤10 nm
温度制御システム		○	環境温度制御システム、精度±0.1℃（温度基準値は外部実験室と同じで、外部実験室は温度安定性が±1℃より優れていることを保証する必要がある）
防振システム		○	多段アクティブ/パッシブ防振システムの構成
設置条件（以下は推奨条件、より詳細なパラメータはメーカーとコミュニケーション可能）		MPD-100サブシリーズ	MPD-1000サブシリーズ	MPD-2000サブシリーズ
電気的条件	電力供給条件	給電線6平方、220 V、50 Hz、16 A
	ピーク電力/運転電力	4kW/1kW	8kW/4kW
環境条件		黄色ライト、万級以上のクリーンルーム、防振等級はVC-C、実験室常温、推奨21-23℃より優先
あっしゅくくうき		必須ではなく、能動防振と吸着テーブル治具のみ
推奨使用面積		2m×2m
外形寸法	設備本体（mm、幅×深さ×高さ）	785×940×720	1300×1300×2200（恒温モジュール1900を含まない）
	キャビネット（mm、幅×深さ×高さ）	620×800×1600	620×800×1600
総重量（kg）		＜600	＜1200

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