熱反射式レーザー共焦点顕微鏡｜Nanoscope Systems lnc

CTRM 750熱反射型顕微鏡は、韓国のNanoscope Systems社が半導体研究などのために開発した顕微鏡である。共焦点と熱反射モジュールを統合し、サンプル表面の3 D輪郭を測定すると同時にサンプル表面の実際の熱分布を測定することができる。その熱反射式モジュールは熱反射式の原理を採用し、目標サンプルの輝度の温度による変化値を収集し、関数を利用して熱反射係数（κ）を得、熱反射係数（κ）をシステムに入力して測定すると目標サンプルの熱分布画像の実際の温度値を得ることができる。

Features&Benefits（性能と利点）：

1. 高分解能無損傷光学3 D測定

2. リアルタイム共焦点イメージング

3. 複数種類の光学ズーム

4. じどうけいしゃほしょう

5. ダブルZ軸走査

6. コンパクトなモジュールサイズ

7. 放電モジュール

8. 操作が簡単

主な機能：

共焦点モジュール

1. 3 D輪郭測定

共焦点モードでは、Z方向の測定範囲は、試料表面の高精細な3 D輪郭画像を得ることができ、異なる温度での試料表面の分析ができるぼうちょうデータ。

2. リアルタイム共焦点イメージング

Liveモードにより、サンプルのリアルタイムの共焦点Videoを導出することができる.

熱反射イメージングモジュール

1. 同期

Synchronousモードの場合、この方法は信号源の周期とカメラの測定タイミングを一致させることによって熱反射画像を取得する

2. 異なる場合に存在する

Asynchronousモードの場合、この方式では信号源の生成周期はカメラ測定とは無関係である。このように測定された画像は、その後、別のTRMeterによって熱分布画像を取得する。

TRViewer（ソフトウェア）：

Transient thermal imaging（過渡撮像）

Application field（応用分野）：

Specifications（パラメータ）：