TS 2000自動プローブ台

MPI TS 2000は世界的に成熟したプローブシステムの自然進化であり、その専用設計は先進的な半導体テスト市場の要求を満たす。このシステムはすべてのMPIシステムアクセサリと完全に互換性があり、主に故障分析、設計検証、IC工学、ウエハレベル信頼性及びMEMS、高出力、RF及びmmWデバイス試験の特殊な要求を解決するために使用される。

製品の説明

TS 2000は周囲温度および/または熱温度のみの動作モードに使用でき、速度は10 Dies/秒（最終構成に依存）に達することができ、これにより、離散RF装置上の予備生産電気試験の理想的な選択となる、例えば：

1.多種の量産型ウエハ測定応用に適用する

• モジュール測定-DC-IV/DC-CV/Pulsed-IV
• 無線周波数測定-最大67 GHz
• 高出力量産試験-最大10 kV/600 A
• 集積回路設計検証-室温から300°C

2. 量産信頼性

24/7の安定した信頼性の高い量産テスト用に設計されている

内建受動式防振テーブル

免震台座を別に選択可能

室温から300°Cまでの測定に適している

3. 生産性学的設計及び弾性オプション

簡単で便利なフロントドア単結晶円上片設計

大面積テーブル設計、最大12 x DCまたは4 x DC+4 x RFマイクロロケータ、または4.5”標準プローブカード治具

他にも複数のウェハステージ、4.5"プローブカード治具を選択することができ、DC/RFマイクロポジショナ、光学顕微鏡などの多くの部品を搭載することができ、アプリケーションのニーズを完全に支援することができます

特徴と利点

1. 大プローブ押え板を広く使用する

TS 2000シリーズは大型で接近しやすいプローブプラテンを提供し、最大12 x DCまたは4 x RF MicroPositionersを収容できる

負荷牽引チューナまたはそれ以上の面積を有するMicroPositionersの統合により、TS 2000システムはRFおよびmmW測定の理想的な選択肢となる

2. 容易なウェハロード

大型フロントドアチャネルは、100,150,200 mmのウェハ、ウェハチップ、または5*5 mm未満のICを容易にロード/アンロードすることができます

AUXチャックは前面にあり、容易にロード/アンロードすることができます。RFキャリブレーションとプローブカードクリーニングのための簡単な自動化方法を提供する段階がない

3. 統合ハードウェアコントロールパネル

インテリジェントなハードウェア制御パネルはプローブシステムに完全に統合され、数十年の経験と顧客の対話設計に基づいて、より速く、より安全で、より便利なシステム制御とテスト操作を提供する

必要に応じて、キーボードとマウスの位置をソフトウェアに制御したり、Windowsベースの機器を制御したりすることができます。

ウェハおよびAUXチャック用の真空制御パネルは、ロード/アンロード中の操作を容易にする右前側にあります。

4. ホットチャック統合

ホットチャック（20℃または周囲温度から最高300℃まで）は、迅速な操作と即時のフィードバックのために、完全に統合されたタッチスクリーンディスプレイを使用して操作することができます。

5. Pプローブカードとミニロケータ-同時実行

4.5インチ×11インチプローブカード用の薄型プローブカードホルダー、および低いプレートとチャック距離の多くのシングルプローブは、アクティブプローブを使用して同時に検出するための理想的な選択であり、このシステムを設計検証と故障解析作業の理想的な選択としている。

6. 統合DarkBox

TS 2000 DはDark Boxを統合したTS 2000です！

このシステムは、最適な敷地面積、埋め込み式インターロック、LED照明、各種測定器の標準化インターフェースパネルのために設計され、光とレーザー安全保護試験環境の第一選択である。

背面パネルから簡単にアクセスでき、迅速かつ容易に再構成または初期設定が可能

7. 機器統合

オプションの機器棚によりケーブル長が削減され、FとmmWアプリケーションの測定動態と方向性が向上

8. ぼうしん

T 52000は2種類の防振ソリューションを採用しており、非ネットワークの実験室テスト環境でよりよく動作することができます。総敷地面積は、産業で一般的に使用されている既存の独立振動分離表と同等かそれ以下である

9. ソフトウェアスイートSENTIO

MPI自動化エンジニアリングプローブシステムは独特かつ革命的なマルチタッチ操作によってSENTIOソフトウェアスイートを制御する：簡単で直感的な操作は大量のトレーニング時間を節約し、Scroll、Zoom、Moveコマンドは現代のスマートモバイルデバイスを模倣し、一人一人が数分以内に専門家になることができるようにする。

RFアプリケーションの場合、別のソフトウェアプラットフォームに切り替える必要はありません-MPI RFキャリブレーションソフトウェアプログラムQAlibriaとSENTIOは完全に統合されています-単一の操作概念方法に従うことで使いやすい