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電話番号
18017373226
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アドレス
上海市浦東新区浦東大道2515号金茂花園南楼703室
製品分類
上海浦量元精密機電有限公司
概要
TAYLOR HOBSON：CCI Lite非接触形態計はCCI（煉瓦利技術のコヒーレント相関アルゴリズム）干渉原理を採用し、表面形態、表面粗さ、三次元及び二次元寸法、表面欠陥検出分析を高精度に測定し、統計報告書を生成することができる
製品詳細
英国Taylor Hobson非接触形態計：CCI Lite非接触形態計はCCI（レンガ利技術のコヒーレント相関アルゴリズム）干渉原理を採用し、表面形態、表面粗さ、三次元及び二次元寸法、表面欠陥検出分析を高精度に測定し、統計報告を生成することができる、
英国TAYLOR HOBSON非接触形態計：
1. ダンパーベース及び支柱：
アルミニウム鋳造ベース：エアフロートダンピングを結合し、測定の安定性と繰り返し精度を高める
スチール構造柱：測定回路の堅牢性と安定性を高め、外部振動の影響を低減する
2. システムパラメータ
(1)干渉タイプ：CCI干渉，Taylor Hopson煉瓦利コヒーレンス相関アルゴリズム
(2)測定距離：2.2mm(標準）、>10 mmはデータスプライスを採用
(3)解像度:0.1 A
(4) RMS再現性：<0.02nm
(5)垂直走査速度：7 um/s
(6)測定点数：1 1024 x 1024こうし
(7) X Y軸単回測定範囲：0.36～7.2 mm
(8) X Y軸解像度:0.4-0.6um（
(9)ステップ高さの繰り返し：>0.1%
(10)システムノイズ：<0.08nm
(11)測定時間： 典型的なサンプル5〜20秒
（12）被測定物の反射率：0.3 –100%
