スイスVAT蝶形制御真空バルブ61.3シリーズ快速精密$r$nスイスVAT高真空蝶形制御バルブ61.3シリーズは高真空環境のための精密制御バルブである
スイスVAT蝶形制御真空バルブ61.3シリーズ快速精密
スイスVAT高真空バタフライ形制御弁61.3シリーズは高真空環境用の精密制御弁であり、以下はその詳細な紹介である1：
製品の特徴：
せいみつあつりょくせいぎょ：迅速で正確な動作制御器を備え、0.1秒以内に応答でき、下流圧力を迅速、正確に制御でき、化学蒸着（CVD）と原子層蒸着（ALD）などのプロセスにおける精密制御の理想的な解決方案である。
劣悪な環境に適応する.：気流中に粒子を含む劣悪な下流プロセスのために設計され、高粒子負荷と屑堆積の場合でも、完-全運転を維持することができる。
信頼性が高い堅牢な設計で、直接インストールオプションを提供し、メンテナンスが簡単で、運用コストを削減できます。
柔軟性が高い：さまざまなバルブボディ材料、表面処理、エラストマー、フランジ接続、特殊寸法、および特殊制御アルゴリズム（適応、固定PI下流/ソフトポンプ）を含むさまざまな設計オプションを提供し、さまざまな真空応用に統合するのに便利である。
技術パラメータ：
サイズ：提供DN 25（1’’）、DN 40（1½’’）、DN 50（2’’）、DN 63（2½'）、DN 80（3'）、DN 100（4'）、DN 160（6'）、DN 200（8'）、DN 250（10'）、DN 320（12'）など様々な仕様があります。
バルブボディ材料：アルミニウムとステンレスの2種類の材質があります。
フランジ接続：標準フランジはISO-KFとISO-Fであり、お客様のニーズに応じて特定のフランジを提供することもできます。
あつりょくはんい
ろうえいりつ：アルミニウム製弁体とステンレス鋼弁体の漏洩率はいずれも1×10タンタルmbar・l・sタンタル未満であった。
しようじゅみょう：圧力制御モードでは、最初のメンテナンス前のサイクル回数は200万回に達することができる。
おんどはんい：弁体温度≦150°C、コントローラの最高温度は50°C（推奨≦35°C）である。
スイスVAT蝶形制御真空バルブ61.3シリーズ快速精密
