SuperView W 1光学3 D表面輪郭計

交渉可能更新01/04

モデル

製造者の性質: プロデューサー

製品カテゴリー

原産地

オンラインコンサルト

概要

SuperView W 1光学3 D表面輪郭計製品型番：SuperView W 1製品名：光学3 D表面輪郭計映像システム：10241024（20482048259294オプション）光学Zoom：1、（0.75、0.5オプション）干渉対物レンズ：2.5、5、10、20、50 XYステージ：サイズ320200 mm、ストローク140110 mm、電気制御XY横分解能：0.4 m Z軸ストローク：100 mm Z方向分解能：0.1 nm単回Z方向走査範囲：10.3 mm、厚さ反復性1 nm Z方向走査速度：45 m/s測定可能サンプル高さ：100 mm測定可能サンプル反射率：0.05%-100%レベル調整：5粗さRMS繰返し性：0.005 nm階段高測定：精度＜0.7%、繰返し性＜0.1%1主な特徴：非接触式無損失検査、ワンタッチ分析、高速高効率

製品詳細

対物レンズ倍率	2.5×	5×	10×	20×	50×
開口数	0.075	0.13	0.3	0.4	0.55
測定可能サンプル角度	4.3°	7.5°	17.5°	23.5°	33.4°
光学分解能@550nm（µm）	3.7	2.1	0.92	0.69	0.5
焦点深度（µm）	48.6	16.2	3.04	1.71	0.9
動作距離（mm）	10.3	9.3	7.4	4.7	3.4

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