ステップ高さ測定

ステップ高さ測定

多くのハイテクアプリケーションでは、階段の高さを正確かつ繰り返し測定する必要があります。Taylor Hobsonは、階段高さ測定のためのこれらの*高さ要件を満たすように設計された多くの機器を提供しています。ステップ高さの被覆範囲はサブナノメートルからミリメートルの間であり、再現性は0.1ナノメートル以下である。

けいりょう

3 Dステップ高さ
表面上の2つの領域に定義された2つの平面の高さ差を提供します。**個の領域は参照領域として定義され、ソフトウェアはこの領域の*小2乗平面を調整します。次に、これに基づいて2番目の平面を測定します。同時に測定されたのは、平均ステップ高さ、*大高さ、*小高さ、角度差である。

2 Dステップ高さ
エッチングラインや矩形領域のような簡単な幾何形状のために段差高さ測定方法を提供する。エッジが露出している場合には、2次元ステップ高さを使用して厚さを測定することもできます。

ISO 5436-1ステップ高さ
異なる測定器による段差高さ測定を比較しようとする場合、標準的な測定方法に従って測定することは非常に重要である。ISO 5436-1は国際的に公認された段差高さ測定方法を提供している。上記の機器はすべてこの基準をサポートしています。