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南京市経済技術開発区龍潭街道疎港路1号龍潭物流基地150532号
江蘇科航流体科学技術有限公司
南京市経済技術開発区龍潭街道疎港路1号龍潭物流基地150532号
電子ガス管システム、略称ガス管システムは貯蔵、輸送、分配、制御の4種類から構成され、そのうち「貯蔵」はガス源部分(くうきタンクGC),「輸送」は配管面(一般的には2重スリーブ)を指し、「分配」は2次分配部分(ガス分配キャビネットVMB)を指し、「制御」は監督制御部分(ガス管理システムGMS)を指す。半導体、集積回路、光ファイバ、太陽電池などのマイクロエレクトロニクス業界に広く応用されているガス回路システムである。
全自動GC(くうきタンク)機能設計によって単鋼瓶、二鋼瓶、三鋼瓶に分けることができる。
単鋼の設計は通常、研究機関や実験室などに使用されている。
双鋼と三鋼は量産工場でよく使われ、プロセスプロセスプロセスは停止状況を許さず、一本の鋼瓶が使用済みになると、もう一本の予備鋼瓶は自動的に給気に転換する。この二つの形式の最大の違いは、パージ管路の高純度窒素ガスが鋼瓶または工場端で供給されることであり、パージ用の高純度窒素ガスが工場端から統一的に供給される場合、すべての特殊ガス供給システムは適合性にかかわらず、すべて同じ供給源に接続され、高いリスク値を持つことである。万一、中央供給システムの高純窒素ガスが中断し、警報システムが破損し、ちょうど2種類の相容れないガスが同時にパージを使用している場合、爆発が発生する可能性が高く、同じ性質で同じボトルを使用してパージできるコストと空間は非常に限られており、非常に良い歪み方式である。
特気システムの/GR特気棚の設置は以下の規定に適合しなければならない:
ガスボンベキャビネットとガスボンベラックは、単一プロセスガスボンベの外付けパージガス源、2プロセスガスボンベの外付けパージガス源、2プロセスガスボンベの内設パージガス源などの多種の構造配置を採用することができる、非適合ガスボンベは同一ガスボンベキャビネットまたはガスボンベフレーム中に置くべきではない、ガスボンベキャビネット、ガスボンベラックは作業用ガスパネルを設置しなければならない。システムの供給能力は熱力学と流体力学計算により確認しなければならない。ガスボンベキャビネット筐体の鋼板の厚さは2.5 mm未満ではなく、腐食防止コーティングが必要である。ガスボンベ戸棚のドアは自動閉鎖機能を備え、防爆ガラス観察窓を備えなければならない。ガスボンベキャビネットの固定ボルトの設計は現地の地震防止震度の要求を満たすべきである、ガスボンベキャビネット、ガスボンベ棚には明確で明確な安全標識板を設置しなければならない。ボンベキャビネットが爆発と火災の危険がある環境に置かれている場合、その設計は現行の国家基準「爆発危険環境電力装置設計規範」GB 50058の関連規定に適合しなければならない。
腐食性、毒性などの危険性ガス供給のために設計された供給システムであり、主材はSS 316 Lを選択し、基本機能は自動パージ、自動切替、および自動切断(アラーム信号がトリガされた設定時)を含む。製造業の範疇内で、特に半導体と高精度化学製品の分野に関連して、特殊ガス(特気)は極めて重要な基礎材料の役割を果たしている。これらのガスを安定的かつ安全に生産ラインに供給することを確保することは、効率的な生産を維持するための鍵である。特気管工事は危険性の高い工事であり、可燃性、爆発性、腐食性、猛毒性などの性質を持つ特殊ガスの安全で安定した輸送を保証するガス供給システムであるため、ガス安全のために特気システムを設置する際には、その一部の規定基準を厳格に遵守しなければならない。