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小型プラズマ発生器

交渉可能更新02/09
モデル
製造者の性質
プロデューサー
製品カテゴリー
原産地
概要
小型プラズマ発生器は実験室に対して専門的に開発する必要がある小型卓上プラズマ洗浄機であり、処理室は円筒形石英ガラスであり、プロセッサは容量結合外電極型であり、内部に電極がない。
製品詳細

製品概要:

小型プラズマ発生器プラズマを利用して物質表面を洗浄し、洗浄、活性化、改質、エッチングなどの目的を達成する。半導体、マイクロエレクトロニクス、COG前、LEDプロセス、デバイスパッケージ前、真空電子、コネクタとリレーなどの業界の精密洗浄、プラスチック、ゴム、金属とセラミックスなどの表面の活性化及び生命科学実験などに応用できる。

小型プラズマ発生器主に制御ユニット、真空チャンバと真空ポンプの3つの部分からなり、数値制御技術を通じて、簡単に各種パラメータを調整することができ、洗浄過程は真空チャンバの中で行うため、洗浄後は乾燥する必要はなく、操作が簡単で、効率が高い。

小型等离子发生器

特徴:欧米放電技術、専門型放電構造、科学シミュレーションプラズマ分布が均一で、処理効果が均一である。

製品の応用:親水性を高め、接着性を改善し、表面マイクロエッチング、有機物除去、酸化物還元、印刷インキの付着力を高める。

製品仕様:

モデル

VPS-RF160

プラズマ周波数

13.56 MHz自動インピーダンス整合

工作真空度

10-100パ

真空ポンプ

オイルポンプ/ドライポンプ(オプション)

電力

0-1000 W調整可能

キャビティマテリアル

輸入段316 Lステンレス鋼/航空アルミニウム合金(オプション)

キャビティ寸法

560 (W) * 610 (D) * 500 (H) mm

キャビティ容積

165L

単層有効処理面積

W520mm x D520mm

ガス回路数

2ウェイガス、支持酸素、アルゴン、窒素、水素など(腐食性ガスはカスタマイズが必要)

処理レベル数

8層(カスタマイズ可能)

せいぎょモード

PLC+タッチスクリーン

電源

AC380V、50/60Hz

外形寸法

950mm(L)×1300mm(W)×1850 mm(H)