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Kunshan Shice Precision Instrument Co., Ltd
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Kunshan Shice Precision Instrument Co., Ltd

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シングルゲート無酸化オーブンクリーンクリーンクリーンクリーンクリーンオーブン

ネゴシエーション可能更新11/30
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概要

半導体、光電素子、エネルギー原材料、通信製品、電気機械製品などの無酸化乾燥、硬化、溶接、アニールなどの高温処理に適している。カプセル化テストすべてのLead PKG、BGA、MCM、フォトリソグラフィプロセス有機ポリマー膜の予備硬化、硬質膜、銀ペースト硬化、型後硬化、めっきアニール、基板の湿気除去、ウエハ乾燥焼鈍などの製品特徴:1、密封性設計:内材質用SUS 304ステンレス板、内槽全体用アルゴンアーク

製品詳細

半導体、光電素子、エネルギー原材料、通信製品、電気機械製品などの無酸化乾燥、硬化、溶接、アニールなどの高温処理に適している。カプセル化テストすべてのLead PKG、BGA、MCM、フォトリソグラフィプロセス有機ポリマー膜の予備硬化、硬質膜、銀ペースト硬化、型後硬化、めっきアニール、基板の湿気除去、ウエハ乾燥焼鈍等

製品の特徴:

1、密封性設計:内材質はSUS 304ステンレス板を用い、内槽全体をアルゴンアークで溶接し、空気がオーブン内に入るのを防止し、同時に不活性ガスを節約する、

2、外部防塵処理:外部材質はSPCC鋼板でソーダ水洗浄後の粉体塗装処理、

3、節能:保温材質は高密度繊維綿で、保温効果が良い;

4、階層構造設計:内箱積層板は高低調整ができ、自由に取り出すことができる、

5、移動自由:箱体には可動キャスターがあり、任意に押して位置を固定することができる、

6、高効率フィルタ:耐高温高効率フィルタを取り付け、クリーンなベーキング環境を得る、(オプション)

7、内循環風設計:強制送風内循環、温度均一を確保する、

8、窒素予熱構造設計、

9、冷系統:冷却システムを配備し、待ち時間を減らし、効率を高めることができる、(オプション)

10、広い温度範囲の選択;

型(かた) 号

仕様パラメータ

HTSWY の-72

(A~E)

HTSWY の-150

(A~E)

HTSWY の-270

(A~E)

HTSWY の-480

(A~E)

内箱サイズ(mm)W×D×H

450×400×400

500×500×600

600×500×900

800×600×1000

作動室数

1

単 くうどう

2

ダブルキャビティ

4

四 くうどう

1

単 くうどう

2

双 くうどう

4

四 くうどう

1

シングルキャビティ

2

ダブルキャビティ

4

四腔

1

シングルキャビティ

2

ダブルキャビティ

4

四腔

外形寸法(mm)W×D×H

実物に準ずる(温度によって外箱の寸法が異なる)

動作温度範囲

A:室温~200℃B:室温~300℃C:室温~400℃D:室温~500℃E:室温~600℃

酸素含有量

I:500ppm。 II:200ppm。 III:50ppm Ⅳ:20ppm

マシン性能

解析精度

0.1℃


ぶんぷきんいつど

±2.0℃%


しょうおん

時間

℃

300

400

500

600

300

400

500

600

300

400

500

600

300

400

500

600



分

35

40

50

60

35

40

50

60

35

40

50

60

35

40

50

60

材質

外部マテリアル

SPCC鋼板粉体焼塗料処理


内部マテリアル

SUS﹟304ステンレスNCベンド成形


断熱材

グラスウール/セラミック繊維綿


シール材

耐高温清浄シリコーンゴム採用

かねつほうしき

熱風循環/熱放射

ちっそそそうち

流量計のサイズ調整可能(L/分)

ヒーター

ステンレス高速ヒータ

タイマ

0.1S~9999H

おんどせいぎょき

一般標準タイプ/タッチスクリーンPLC のプログラム制御型(かた)

その他の部品

多層強化ガラス窓(300℃内側)、隔層置物棚(2枚)

あんぜんそうち

回路システム負荷保護、ファン過負荷保護、温度が計時になると断加熱、故障警告灯

オプション

①記録計②酸素含有量分析器、⑥通信インタフェース、⑦HEPA高効率フィルタ