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Kunshan Shice Precision Instrument Co., Ltd
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Kunshan Shice Precision Instrument Co., Ltd

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シングルゲート無酸化オーブンクリーンクリーンクリーンクリーンクリーンオーブン

ネゴシエーション可能更新11/30
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概要

半導体、光電素子、エネルギー原材料、通信製品、電気機械製品などの無酸化乾燥、硬化、溶接、アニールなどの高温処理に適している。カプセル化テストすべてのLead PKG、BGA、MCM、フォトリソグラフィプロセス有機ポリマー膜の予備硬化、硬質膜、銀ペースト硬化、型後硬化、めっきアニール、基板の湿気除去、ウエハ乾燥焼鈍などの製品特徴:1、密封性設計:内材質用SUS 304ステンレス板、内槽全体用アルゴンアーク

製品詳細

半導体、光電素子、エネルギー原材料、通信製品、電気機械製品などの無酸化乾燥、硬化、溶接、アニールなどの高温処理に適している。カプセル化テストすべてのLead PKG、BGA、MCM、フォトリソグラフィプロセス有機ポリマー膜の予備硬化、硬質膜、銀ペースト硬化、型後硬化、めっきアニール、基板の湿気除去、ウエハ乾燥焼鈍等

製品の特徴:

1、密封性設計:内材質はSUS 304ステンレス板を用い、内槽全体をアルゴンアークで溶接し、空気がオーブン内に入るのを防止し、同時に不活性ガスを節約する、

2、外部防塵処理:外部材質はSPCC鋼板でソーダ水洗浄後の粉体塗装処理、

3、節能:保温材質は高密度繊維綿で、保温効果が良い;

4、階層構造設計:内箱積層板は高低調整ができ、自由に取り出すことができる、

5、移動自由:箱体には可動キャスターがあり、任意に押して位置を固定することができる、

6、高効率フィルタ:耐高温高効率フィルタを取り付け、クリーンなベーキング環境を得る、(オプション)

7、内循環風設計:強制送風内循環、温度均一を確保する、

8、窒素予熱構造設計、

9、冷系統:冷却システムを配備し、待ち時間を減らし、効率を高めることができる、(オプション)

10、広い温度範囲の選択;

型(かた)

仕様パラメータ

HTSWY の-72

(A~E)

HTSWY の-150

(A~E)

HTSWY の-270

(A~E)

HTSWY の-480

(A~E)

内箱サイズ(mm)W×D×H

450×400×400

500×500×600

600×500×900

800×600×1000

作動室数

1

くうどう

2

ダブルキャビティ

4

くうどう

1

くうどう

2

くうどう

4

くうどう

1

シングルキャビティ

2

ダブルキャビティ

4

四腔

1

シングルキャビティ

2

ダブルキャビティ

4

四腔

外形寸法(mm)W×D×H

実物に準ずる(温度によって外箱の寸法が異なる)

動作温度範囲

A:室温~200B:室温~300C:室温~400D:室温~500E:室温~600

酸素含有量

I:500ppm。 II:200ppm。 III:50ppm 20ppm

マシン性能

解析精度

0.1


ぶんぷきんいつど

±2.0%


しょうおん

時間

300

400

500

600

300

400

500

600

300

400

500

600

300

400

500

600



35

40

50

60

35

40

50

60

35

40

50

60

35

40

50

60

材質

外部マテリアル

SPCC鋼板粉体焼塗料処理


内部マテリアル

SUS304ステンレスNCベンド成形


断熱材

グラスウール/セラミック繊維綿


シール材

耐高温清浄シリコーンゴム採用

かねつほうしき

熱風循環/熱放射

ちっそそそうち

流量計のサイズ調整可能(L/分)

ヒーター

ステンレス高速ヒータ

タイマ

0.1S9999H

おんどせいぎょき

一般標準タイプ/タッチスクリーンPLC のプログラム制御型(かた)

その他の部品

多層強化ガラス窓(300内側)、隔層置物棚(2枚)

あんぜんそうち

回路システム負荷保護、ファン過負荷保護、温度が計時になると断加熱、故障警告灯

オプション

記録計②酸素含有量分析器、⑥通信インタフェース、⑦HEPA高効率フィルタ