はんじどうウェハボンディングけい

SUME

BW 510は研究開発または小ロット生産のための半自動ウェハボンディング設備であり、良好な圧力と温度均一性が比較的に特殊な構造設計を備え、ボンディングの圧盤の相対レベルを保証し、先進的な真空システム及びキャビティ設計を備え、簡潔なメニュー編集と設備状態の監視及び安全保護機能を便利にする。SUMEBW 510は大部分の品円寸法に互換性があり、開放式キャビティ設計はメンテナンスが容易であり、異なる規格の転換、敷地面積が小さく、機能が完備している。
設備の優位性
高真空結合キャビティ、より速い加熱と真空引き、生産能力を増加させる、シングルチップから200 mm製品まで、互換性のある実験と生産、
プログラム自動運転

より良いコスト制御。