半自動VMB分配箱

VMBバルブボックス製品紹介：

VMBバルブ分配タンクは、高純度ガスまたは液体の分流を実現するためのマルチブランチを内蔵するバルブタンクである。

VMBは、高純度原料を単一の供給源からマルチポイント応用に分配することができる。使用点ごとに圧力を個別に調整することができ、異なるアプリケーションのニーズを同時に満たすことができます。また、パージ機能と真空抽気機能を提供することができるため、オペレータは危険なガス漏れがなく安全に維持することができる

VMBの各部分。これに加えて、設備の運転中に他の分岐ガスの供給に影響を与えずに、ある分岐をパージしたり、真空抽気したりすることができます。

半自動VMBバルブボックスの紹介：

半自動分配箱（VMB）：PLC制御を採用することにより、設備に取り付けられた圧力センサー、空気圧弁などの装置を通じて、設備の安全で有効な運行を実現する。その内部PLCプログラム設計の安全インターロック機能と高純度バルブ部品の合理的な選択と配置は、半導体を満たす

バルクプロセスの生産過程における高純度媒体の連続供給と高純度の要求は、同時に工場の正常な生産と従業員の安全を確保した。

適用ガス：可燃性、腐食性、毒性ガス、例えばSiH 4、NF 3、NH 3、N 2 O、HClなど。
適用業界：Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED，研究所、大学実験室など。

パネルの基本構成：

インレット手動遮断弁
インレット空気圧ダイヤフラム弁
入口圧力センサ
パージ圧力計
ワンウェイバルブ
げんあつそうち
フィルタ

パネルのオプション構成

しんくうはっせいき
テストポートバルブ