走査/透過型電子顕微鏡

JEOL JSM-7610 FPlus走査/透過型電子顕微鏡は半浸漬型対物レンズとHigh Power Optics照明システムを採用し、安定した高空間分解能観察と分析を提供する。また、GENTLEBEAMTMモードを用いた低加速電圧観察や、r−filter選別信号などによる様々なニーズに応える高い拡張性を備えている。

　　Jeol jsm-7610フィート以上走査/透過型電子顕微鏡半浸漬式対物レンズとHigh Power Optics照明システムを採用し、安定した高空間分解能観察と分析を提供する。また、GENTLEBEAMTMモードを用いた低加速電圧観察や、r−filter選別信号などによる様々なニーズに応える高い拡張性を備えている。浸漬型ショットキー電界放出電子銃は、従来のショットキー電界放出電子銃（FEG）の10倍のプローブ電流を得ることができ、絞り角制御鏡（ALC）はプローブ電流が増大したときもビームスポットを保持することができ、両者を組み合わせると200 nA以上のプローブ電流を提供することができる。強力なHigh Power Opticsシステムでは、高倍率画像観察からEDS解析とEBSD解析を変更することなく高解像度の小対物レンズ絞りを使用することができます。絞り角制御ミラー（ACL）は対物レンズの上方に配置され、プローブ電流範囲全体で対物レンズ絞りの角度を自動的に最適化する。そのため、試料を照射するプローブ電流が大きくても、従来方式に比べて小さな電子ビームスポットが得られる。

　　Jeol jsm-7610フィート以上走査/透過型電子顕微鏡規格：

1.二次電子像分解能：0.8 nm（加速電圧15 kV）、1.0 nm（加速電圧1 kV）、分析時3.0 nm（加速電圧15 kV、WD 8 mm、プローブ電流5 nA）

2.加速電圧：0.1～30 kV

3.プローブ電流：数pA〜200 nA

4.電子銃：浸漬式ショットキー電界放出電子銃

5.レンズシステム：集光レンズ、絞り角制御レンズ、半浸漬式対物レンズ

6.試料台：全対中測角試料台、5軸モータ駆動

7.電子検出器シリーズ：高ビット検出器、r‐フィルタ内蔵、低ビット検出器

8.自動機能：オートフォーカス、オート消像分散、自動輝度/ライニング調整

9.画像観察用：液晶ディスプレイ

10.画面サイズ：23インチワイドスクリーン