青島浄化プロジェクト

青島せいじょうこうじシリコンチップなどの製品が接触する大気の清浄度と温湿度を制御し、製品を良好な環境空間で生産、製造できるようにすることを指す。この環境空間の設計施工過程を浄化工事と呼ぶことができる。

青島せいじょうこうじ分（ぶん）

乱流清浄室の主な特徴は、従来から流出（送風口から送風口まで）の間の気流の流通断面が変化しており、清浄室断面は送風口断面よりずっと大きいため、全室断面または全室作業区断面に均一な気流を形成することはできない。そのため、送風口以降の流線は互いに大きくまたはますます大きくなる角度があり、曲率半径は小さく、気流は室内で一方向に流れることができず、互いに衝突し、還流、渦が発生する。これにより乱流清浄室の流れの実質は：突然変異流、不均一流

これは乱流を用いて乱流清浄室を記述するよりも正確で全面的である。乱流は主にReynolds数、つまり主に流速の影響を受けるが、フィルタが突き上げる送風形式を採用すると、流速が極めて低くても、上記のような様々な結果が生じる。これは、突然変異流と不均一流であるためである。そのため、この場合には流れ層間の乱流による混和だけでなく、全室範囲での大きな還流、渦による混和もある。

いちほうこうりゅうせいじょうしつ

一方向流クリーンルームには、一般に水平流と垂直流の2種類があります。水平流システムでは、気流は一方の壁から他方の壁に流れる。垂直流システムでは、空気流は天井から地面に流れる。クリーンルームの懸濁粒子濃度が要求される場合や微生物濃度がより低い場合は、一方向気流を使用する。一方向流と層流の名前は、その気流の状況を示しています。気流は一方向（または垂直または水平）に流れ、一般的には0.3メートル/秒から0.5メートル/秒（60フィート/分から100フィート/分）の平均速度で空間全体を流れます。布だらけのクリーンルーム天井のフィルターから室内に送風される。空気流は空気ピストンのように、室内を下に流れ、汚染物質を持ち帰り、地面から排出される。また、外部の新鮮な空気と混合した後、フィルタに再循環します。人員とプロセスによる浮遊汚染はすぐにこの空気によって除去されるが、乱流換気システムは混合と希釈の原理を採用している。障害物のない空室では、前述のよりはるかに低い風速で一方向流を流すことで、汚染物をすばやく除去することができます。しかし、1つの操作室では、機械や機械の周りを歩く人は、気流に障害を与えることがあります。障害物は一方向流を乱流に変え、障害物の周りに気流団を形成することができる。人員の活動は一方向流を乱流にすることもできる。そのため、中断された一方向流を迅速に回復させ、障害物周辺の乱流領域の汚染を十分に希釈するためには、風速を0.3メートル／秒〜0.5メートル／秒（60フィート／分〜100フィート／分）の範囲に維持しなければならない。風速が高いほど室内がきれいになるので、風速で単方向流を正確に表現することができます。一方、1時間あたりの換気回数は天井の高さなど部屋の体積に関係しているため、一方向流を表すのには適していない。一方向流室内の送風量は乱流室の数倍（10〜100倍）である。