QMA 401マイクロウォーターアナライザ

ミセル社は石英結晶振動マイクロバランス技術を絶えず改善し、最新の新製品QMA 401を開発した。最新型の分析計は次世代の精密石英結晶センサーを採用し、背景ガス成分の変化の影響を受けない高精度な測定を確保している。他の湿度技術が1 ppm未満の微小水分野で不振であっても、業界で認められた結晶振動技術を採用した最新製品QMA 401は、高い信頼性と簡便な測定を提供し、ユーザーのメンテナンスコストを大幅に削減することができる。

信頼性

高い信頼性を保証するために、QMA 401の主要部品である湿度発生器、センサ、流量制御装置は正確な温度制御を確保している。サンプルガスまたは周囲温度の変化時に測定結果が影響を受けないことを確保する。この分析器は質量流量計を用いてサンプルガスと標準ガスの流量を正確に制御し、流量精度が±0.1 ml/分を超えないようにする。圧力センサを追加して、サンプルガス圧力に変動が発生した場合、このシステムも測定と計算パラメータの精度を保証し続けることができます。

QMA 401マイクロウォーターアナライザハイライト

•フルレンジで0.1～2000 ppmVの範囲から、高精度な測定を実現

•使いやすく、オンサイト保守が便利で、メンテナンスコストが低い

•0.1 ppmVまたは示度の10%まで精度が高く、大きな値をとる

•変化中のサンプリング条件に対して信頼性の高い測定を行う－サンプリングガスの圧力と流量の変化に応じて自動調整を行う

・背景ガス成分の変化の影響を受けない

•長いメンテナンス間隔

•乾燥ドラムの交換は10分で可能

•直感的なメニューインタフェース

•EthernetまたはUSBデジタル通信

•SDカードデータ記録

•オプションの組み込みサンプリングシステムとバイパス

QMA 401マイクロウォーターアナライザアプリ

•高純ガス生産

•ブランク分割

•半導体CVDクリーンルーム

•半導体エッチングチャンバ

•発電機水素冷却装置

•プラスチック粒子乾燥

技術仕様

性能

測定技術高速応答の石英結晶振動技術

検査範囲0.1 ~ 700 ppmV

測定範囲0.1 ~ 2000 ppmV

精度0.1 ppmV（0.1 ~ 1 ppmV）

示度の±10%（1 ~ 2000 ppmV）

繰り返し性±0.1 ppmV（0.1 ~ 1 ppmV）

示度の±5%（1 ~ 2000 ppmV）

最小測定値0.1 ppmV

测量单位 ppmV、ppmW、mg/nm3、蒸気圧（Pa）、霜点（°C）、lb/MMscf

応答速度T 63<2分T 95<5分

内部湿度発生器の自動検査

NPLからNISTにさかのぼることができます

感度0.1 ppmVまたは示度の1%で、大きな値をとる

電気パラメータ

電力供給85 ~ 264 V AC、47/63 Hz、110 ~ 300 V DC

最大消費電力111 W

アラーム1 xシステムアラーム、電圧変換なし（FORM C）

3 xプロセスアラーム、各種パラメータを選択可能、電圧変換なし

（フォームC）

通信アナログ出力：4-20 mAまたは1 ~ 5 V 2種類選択可能

デジタル通信：RS 485/USB Modbus RTU，Ethernet

モドバス TCP

データ記録をSDカードに直接記録するか、PCアプリケーションソフトウェアを介して転送する

ディスプレイ7”カラーLCDタッチスクリーン

労働条件

吸気圧力最大1 barg

オプションの高圧版：最大300 barg

吐出圧力大気圧

サンプルガス流量300 ml/分、総流量@大気圧

サンプルガス温度0 ~+100°C

動作環境は+5～+45°C、最高90%RH

機械パラメータ

ハウジング19”x 4 U x 434 mmハウジング

ガスインターフェース1/4”VCR（M）

重量13.5 kg