プラズマ処理システム

交渉可能更新02/09

モデル

製造者の性質: プロデューサー

製品カテゴリー

原産地

オンラインコンサルト

概要

プラズマ処理システムは実験室に対して専門的に開発する必要がある小型卓上プラズマ洗浄機であり、処理室は円筒形石英ガラスであり、プロセッサは容量結合外電極型であり、内部に電極がない。

製品詳細

製品概要：VPS-RF 05は小型デスクトップ型真空プラズマ処理器であり、その原理は真空状態（約10 ~ 100 pa）で、ガスに電場を印加し、ガスは電場が提供するエネルギーの下でガス状態からプラズマ状態（物質の「第4状態」ともいう）に変化し、その中には大量の電子、イオン、光子と各種ラジカルなどの活性粒子が含まれ、通常の化学反応によって発生する活性粒子より種類が多く、活性が強く、接触した材料表面と反応しやすい。これらの高エネルギー粒子及び活性粒子を用いて材料表面と物理的又は化学的に反応させることにより、材料表面の性質を変化させる目的が達成される。

プラズマ処理システム特徴：プラズマ電源回路技術、放電構造を輸入し、プラズマの均一分布を確保する。

プラズマ処理システム応用：表面有機物の除去、接着性の向上、表面濡れ性の向上、生体適合性の向上、表面エネルギーの向上、表面粗さの改善。

等离子处理系统

製品仕様：

モデル	VPS-RF05
頻度	13.56 MHz自動インピーダンス整合
電力	0-200 W連続調整可能
キャビティマテリアル	輸入段316 Lステンレス鋼
キャビティ容積	5L
キャビティ寸法	Φ150（直径）×280（D）
ゆうこうしょりめんせき	140（W）*250（D）mm
ガス流量制御器	MFCマスフローコントローラ
ガス回路数	2ウェイガス、常用O 2、Ar 2、N 2、H 2、等（腐食性ガスはカスタマイズが必要）
真空測定システム	ピラニ真空シリコン管
げんかいしんくうど	1パ
せいぎょモード	4.3インチタッチスクリーン+PLC
真空ポンプ	オイルポンプ/ドライポンプ（オプション）
電源供給	AC220V/50Hz
外形寸法	550mm（L）×450mm（W）×500mm（H）

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