プラズマ洗浄機

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概要

プラズマ洗浄機はミクロ固体表面の処理設備として、全く新しい表面処理方案である。プラズマは物質の状態であり、物質の第4状態とも呼ばれる。ガスに十分なエネルギーを加えて分離するとプラズマ状態になる。プラズマの「活性」成分には、イオン、電子、活性基、励起状態の核種（準安定）、光子などが含まれる。プラズマ洗浄機は、これらの活性成分の性質を利用してサンプル表面を処理することにより、洗浄などの目的を達成する。

製品詳細

プラズマ洗浄機微視的固体表面の処理設備として、全く新しい表面処理方案である。プラズマは物質の状態であり、物質の第4状態とも呼ばれる。ガスに十分なエネルギーを加えて分離するとプラズマ状態になる。プラズマ“活性”成分には、イオン、電子、活性基、励起状態の核種（準安定状態）、光子などが含まれる。プラズマ洗浄機これらの活性成分の性質を利用してサンプル表面を処理することにより、洗浄などの目的を達成することができる。

主に半導体、めっき技術、プリント配線板プロセス、プリント配線板プロセス、部品実装前、認識前、真空電子、コネクタとリレーなどの業界の精密洗浄、プラスチック、ゴム、金属とセラミックスなどの表面の活性化及び生命科学実験など。

この洗浄機は高純度石英倉体を内蔵し、新型の電極構造設計と固体電源技術を採用し、その有効容積を増大させ、異なる真空ガス環境下でマッチングしやすく、かつ制御周波数が安定している。

機種	Z5KQX	S2DQX
せいぎょモード	7寸タッチスクリーンのヒューマンインタフェース	7
電源供給	AC220V（AC110Vオプション)
	機械全体の動作電流は以下である3.5A(無真空ポンプ)
むせんしゅうはでんげんでんりょく	500W	150W
マッチング方式	自動照合	手動照合
パージ周波数	40KHz	13.56MHz
けつごうモード	ようりょうけつごう
	≤30Pa		≤50Pa
キャビティマテリアル	高純度石英
キャビティ容積	5リットル（内径Φ152mmX深さ280 mm）	2L(内径Φ110mmX深さ220 mm）
のぞき窓の内径	Φ50	Φ50
ガス流量	0-50ml/min（熱式質量流量センサ2個個）
しんくうけいりょうてい	1E5Paまで1E-1Pa（ピラニ真空計）
プロセス制御	自動切り替え	手動照合自動切り替え
せんじょうじかん	オートマチックスイッチ
オープンカバー方式	ヒンジ側開放フランジ
外形寸法	450450250mm	450450360 mm
真空チャンバ温度	より小さい65℃
れいきゃくほうしき	きょうせいふうれい
標準	KF161メートル、kf16カフ2個、ステンレス製網箱1個、電源コード1本、説明書1冊。

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