非破壊検出器微小焦点X線透視検査装置

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非破壊検出器微小焦点X線透視検査装置

島津製の微小焦点X線発生器と高収率平板検出器を搭載した硬直照射型X線検査装置。高精細度と広いダイナミックレンジ画像により、微細な内部構造と欠陥を観察することができる。また、透視/CTモード切り替えを簡単かつ迅速に行うことができ、作業要件に応じてさまざまな観察を実施することができます。Xslicer SMX-6010で覆われた検査は、体積が縮小しつつある電子部品から密度が高まっている多層実装基板に至る。

■傾斜CT

大型実装プレート等を斜めCT撮影する場合

サンプルはXYステージ上にあるため、X線発生装置に近接して高倍増幅撮影を行うことができる。

■直線CT

直線CTで大型基板等を撮影する場合

高増幅倍率を得るためにX線発生装置側に試料を近づけると、CT撮影中に試料とX線が干渉し、高増幅撮影ができなくなる。

基板上のサンプルであれば、サンプル幅の影響を受ける直線CTとは異なり、傾斜CTは高倍率撮影が可能である。

非破壊検出器微小焦点X線透視検査装置

システム構成

メンテナンスが容易な自社製X線発生装置と各種安全機構を搭載したシステム、より低コストで、より安全な使用を実現します。

X線発生装置：管電圧160 kV・1μm分解能開放管X線発生装置を搭載した。高圧発生器の一体化を実現し、高圧ケーブルのメンテナンスを行う必要がない。自動調整機能により、フィラメントの交換がより簡単になります。
※1μm分解能：JIMA Chart試験

X線検出器：300万画素フラットパネル検出器を搭載。

5軸ステージ
サンプルを搭載したステージのXYZ軸のほか、検出器も傾き、回転する。5軸連動で、すべての角度の検査をサポートします。