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住所
北京市豊台区豊体北路5号613室
一、技術パラメータ:
3.1機械全体:一体型集積、空気圧縮システム、浄化システム、ストレージシステムと窒素ガス製造システムを含む
3.1.1窒素ガス流速30 L/min
3.1.2純度99%
3.1.3窒素ガス圧力は80 psiであり、圧力は調整可能であり、先端装置の給気圧力要求を満たすことができる
3.1.4 PAEs(フタル酸エステル):なし
3.1.5圧力露点:<−45℃
3.1.6使用環境温度:5 ~ 35℃
3.1.7使用環境湿度:0~80%、結露なし
3.1.8電圧220 V、電力1.6 KW
3.1.9外形寸法(縦×幅×高さmm):360×600×650
3.2空気圧縮システム:オイルフリー空気圧縮機を内蔵し、デュアルコンプレッサ技術、
3.3浄化システム:
3.3.1 4級超精密ろ過システムを採用する
3.3.2ろ過精度:粒子<0.01um@0.003mg/m3
3.3.3高フラックス設計、空気処理量は400 L/min以上
3.3.4フィルタシステムは知能閉塞警報機能を持ち、故障による損失を避ける
3.3.5大電力凝縮除水システムを採用し、乾燥した空気流を確保する