新型8インチアンセス・プログラマブルソリッドマシン

新型8インチアンセス・プログラマブルソリッドマシン

製品紹介：

名前：プログラマブルホモジナイザ

モデル：HC 220 SE（新型）

適用：新型8インチアンセス・プログラマブルソリッドマシンは、専門8インチ以下のウェハスピンコーティング膜設計（サイズダウン互換）。効率的で省スペースな設計を採用する、フルカラータッチパネル操作、上級プログラマブル論理コントローラコントロール化学的互換性、高精度、高再現性。真空度のリアルタイムデジタル表示を増加させ、真空圧力を調整することができる。

製品概要：

新型8インチアンセス・プログラマブルソリッドマシン高品質で均一な薄膜を製造するための実験室装置である。その動作原理はゴム液を回転する基板表面に滴下し、シムマシンが高速回転して遠心力を発生してゴム液を基板表面に均一に分布させ、ナノメートル級またはミクロン級の均一な薄膜を形成することである。

新型8インチアンセス・プログラマブルソリッドマシン、効率的で省スペースな設計を採用する、フルカラータッチスクリーン操作、上級プログラマブル論理コントローラコントロール高密度ポリエチレンスピンコーティング内腔、化学互換性、サーボ産業用モータ、高精度、高繰返し性、結晶子サイズ範囲に適合直径5～220 mm。マイクロエレクトロニクス、半導体、新エネルギー、生物材料、ナノ材料などの分野の高精度薄膜コーティングの製造に用いることができる。

製品特徴：

●コンパクト設計、敷地面積最小化、

●高密度ポリエチレン高分子材料は内腔にスピンコーティングされ、腐食に強く、化学的互換性がある、

●フルカラー8インチタッチスクリーン、学びやすくて使いやすくて、操作しやすい、

●高級プログラマブル論理コントローラ自動プログラム制御、高速スピンコーティングとマルチステッププログラミングスピンコーティングができ、運転状態がリアルタイムに表示される、

●モータの異位駆動構造を採用し、モータのゴム注入防止保護機能を有する、

●ゴム入り防止設計、配管の疎通性設計。回転電機をゴムを入れないように保護し、意外にゴムを入れて疎通しやすい、

●回転速度、加速度、時間、真空ポンプオフ/停止、自動吸着シート、自動放出はタッチパネルで操作できます。

●真空安全検査インターロック、真空度が不足した場合、設備は自動的に運転を停止し、飛片を防止し、安全を確保する。この機能は設定でオフにできます。

●カバーが安全にロックされ、カバーが開くと、設備は自動的に運転を停止し、安全を確保するためのヒントをポップアップする。この機能は設定でオフにできます。

●真空度はリアルタイムでデジタル表示され、真空圧力は調節可能である；

●テープ4道路自動ディスペンサーインターフェース、最大アップグレード可能4道路の自動ディスペンサー

●ユーザーパスワード保護機能を設定できる、

技術パラメータ：

● 適用可能な結晶子サイズ範囲：直径5～220 mm（より大きいサイズでカスタマイズ可能）、

●スピンコーティング速度：0 ~ 10000 rpm（より高速オプション）、

● 回転速度分解能：0.1 rpm、

● スピンコーティング加速度：0-30000 rpm/s、

●最大スピンコーティング時間：3000 s、スピンコーティング時間精度：0.1 s、

●内腔の直径は258 mmで、内腔は独特な凹面の跳ね防止設計を採用している。

●シングルステップ高速スピンコーティングとマルチステッププログラミングスピンコーティングを備え、プログラム100組、プログラム1組100ステップをプログラム可能、

●設備寸法：445 mmX 300 mmX 300 mm（縦横）、

●重量：20 Kg、

●電力要求：800 W、

●HCV 500無油真空ポンプ、真空度-92 KPa、抽気速度90 L/min、

●電源入力：AC 200-230 V

8インチプログラマブルホモジナイザーHC 220 SE、標準構成は1台のオイルフリー真空ポンプと3本の通常のキャリアディスクを含み、詳細な製品情報は、アンセズスタッフに連絡してください。