NX−PTR全自動オンライン検出原子間力顕微鏡

Park SystemsのPTRシリーズは全自動工業級線上の原子間力顕微鏡ソリューションであり、長尺ストリップ、磁気ヘッドジョイントアセンブリに適している（これらに限定されない）(HGA)段スライダおよび個別スライダの極尖沈降自動測定。サブナノスケールの精度、高繰返し精度、高スループットにより、PTRシリーズはスライダメーカーが全体の生産量を高めるための理想的な測定ツールであり、ハードディスクドライブスライダ製造業では、ツールが極尖沈降を迅速かつスムーズに測定できるだけでなく、高基準の精度を保証することが求められている。それがPark NX-PTR大活躍の分野。超精密な極尖沈降測定に加えて、自動化機能により効率が大幅に向上します。これはNX-PTRハードディスクドライブスライダメーカーの良い選択肢となり、優れた品質と高い生産性を両立しています。ほとんどの原子間力顕微鏡では、極尖沈降を正確に測定するには複数回の走査が必要であり、まず大領域参照走査、それに続く小領域高分解能走査である。

複数回のスキャンには時間がかかり、スループットの向上が制限されます。我々のスキャンシステムは真の平面スキャンをもたらし、スキャン回数を効果的に低減する。また、True Non-Contact™モードはプローブを鋭利に維持し、寿命を延長しながら、より持続的な高解像度イメージング効果を提供します。そのため、Park NX-PTRスキャナアーチファクトを修正するために参照スキャンを行うことなく、関心のある領域の詳細で正確な画像を生成することができる。

基本技術パラメータ

30%~60%

主な機能1.全自動オンライン、高速、正確で信頼性の高いPTR

そくてい

2.複数回のスキャンは不要

3.自動オンラインハードディスクスライダ測定

4.自動欠陥検出分析

5.自動レーザ補正、及び自動変換プローブ

適用＃テキヨウ＃全自動化極尖沈降(PTR)

そくてい

各種類の壁角の自動測定と分析を実現する。表面尖角などの各種欠陥の全自動測定と分析を実現する