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上海納騰計器有限公司
概要
NX−Hivac高真空原子間力顕微鏡
製品詳細
Park NX-Hivac故障解析エンジニアに高真空環境を提供することにより、測定感度及び原子間力顕微鏡測定の再現性を向上させる。一般的な環境や乾燥N2条件に比べて、高真空測定は精度が高く、再現性がよく、針先とサンプルの損傷が低いなどの利点があるため、ユーザーは各種故障分析応用における多くの信号応答を測定することができ、例えば走査拡散抵抗顕微鏡法(SSRM)のドーパント濃度を測定した。Park NX-Hivac真空環境における高精度と高分解能測定の材料科学研究を酸素と他の薬剤の影響から遠ざけ、高真空条件下で走査拡散抵抗顕微鏡測定を実行することで、必要な針先を減らすことができる-サンプルは相互に力を加え、サンプルと針先への損傷を大幅に低減した。
これにより、各針先の寿命を延長し、スキャンをより低コストで便利にし、空間分解能と信号対雑音比を向上させることでより正確な結果を得ることができる。したがって、NX-Hivac行われた高真空走査拡散抵抗顕微鏡測定は、故障解析エンジニアがそのスループットを増加させ、コストを削減し、正確性を高める賢明な選択と言える。
基本技術パラメータ
スキャナ |
光学顕微鏡 |
サンプルテーブル |
|
XYスキャナ：50 μm x50μ m100 （μm x 100μm |
オプション）対物レンズ： 10x |
5M pixelCCDXYプラットフォームストローク ：22 mm x 22mmサンプルサイズ：50mm x 50mm |
、厚み |
20 mm |
物理情報 |
ソフトウェア高真空 |
真空チャンバ：300mm x 420mm x 320mmSmartScan： Park AFMオペレーションソフトウェア XEI:AFMデータ解析ソフトウェア |
HivaManager-5 : 自動真空制御ソフトウェア真空レベル：より小さい1 x 1010-5 torrポンプ速度： |
5 min
内に達する
torr主な機能故障解析応用のための高真空走査Park NX-Hivac故障解析エンジニアに高真空を通過させる2SSRM
向上した感度と解像度。高真空走査は大気または乾燥よりも
の
N
条件の下でより高い精度、より良い再現性、針先とサンプルの損傷を減らすことができ、ユーザーは故障分析応用の中でより広い範囲の塗料濃度と信号強度を測定することができ、
高度な自動化機能2
ユーザーが必要とする入力操作は簡単で、ユーザーはより速くスキャンすることができ、実験室の実験成果を高めることができる。適用＃テキヨウ＃2 二次元金属材料の電気的性質に関する研究C-AFM inAir vs High Vacuum MoS
空気と真空の下で
MoS
