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温度範囲-190℃~600℃、RT ~ 1000℃温度安定性±0.05℃雰囲気保護、真空試料領域28 x 30 mmプローブ数4個の電気学継手BNC三同軸BNCオプションメサ電位電気接地三同軸背電極オプション適合光学機器顕微鏡分光器強誘電体電気化学ワークステーション磁場電気源表半導体分析器DLTS