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メール
davidzhang@mx-industry.com
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電話番号
13816366481
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アドレス
上海市徐匯区桂平路481号21棟315室
茂鑫実業(上海)有限公司
davidzhang@mx-industry.com
13816366481
上海市徐匯区桂平路481号21棟315室
HCS 621 GXY顕微鏡ホットテーブルは顕微鏡/分光計用に設計されている。この冷却テーブルは-190℃~ 600℃の範囲で温度を制御することができ、同時に光学観察とサンプルガス環境制御を可能にする。
ホットテーブルの上カバーと底シェルは気密チャンバを構成し、窒素などの保護ガスを内部に充填して、サンプルが負の温度で霜を結んだり、高温で酸化したりするのを防止することができる。
また、冷熱テーブルには、シールチャンバの外からサンプルを移動できるXYサンプル微分移動尺が付いている。また、真空チャンバモデルHCS 421 VXYも提供されています。
機能の特徴:
| 顕微鏡/分光計に適用 |
| -190℃~ 600℃のプログラマブル温度制御(負の温度には液体窒素冷却システムが必要) |
| 直径26 mmの光透過孔付き加熱領域 |
| 試料をXY方向に移動する微分移動尺 |
| シールドガスを充填可能な気密チャンバ(真空チャンバ型式を別とする) |
| 温度制御器やコンピュータソフトウェアから制御でき、ソフトウェアSDKを提供できる |
温度制御パラメータ:
| おんどはんい | -190℃~ 600℃(負温度には液体窒素冷凍システムが必要) |
| ヒータブロックマテリアル | 銀 |
| センサ/温度制御方式 | 100Ω白金RTD/PID制御 |
| *大加熱/冷房速度 | +150℃/min(100℃の場合) -50℃/min(100℃時) |
| *小加熱/冷房速度 | ±0.01℃/分 |
| 温度分解能 | 0.01℃ |
| おんどあんていせい | ±0.05℃(>25℃),±0.1℃(<25℃) |
| ソフトウェア機能 | 温度制御速度を設定でき、温度制御プログラムを設定でき、温度制御曲線を記録できる |
光学パラメータ:
| 適用光路 | 透過光路及び反射光路 |
| まどシート | 取り外し可能な窓シートと交換可能な窓シート |
| *小対物レンズの動作距離 | 5 mm*断面図におけるWD |
| *小さな集光レンズの動作距離 | 11.5 mm*断面図におけるCWD |
| とうこうこう | φ2 mm*断面図におけるφVA |
| 上蓋窓シートの観察 | 窓板範囲φ18 mm、*大画角±58°*断面図におけるθ1 |
| ボトムウィンドウ観察 | 窓板範囲φ18 mm、*大画角±19°*断面図におけるθ2 |
| 負温下窓シート除霜 | ブロー除霜管路 |
構造パラメータ:
| 加熱ゾーン/サンプルゾーン | Ø26ミリメートル *XY移動定規を使用する場合のサンプル領域はサンプル基板によって決定される |
| サンプルキャビティ高さ | 2.5 ミリメートル *サンプル*大厚=サンプルキャビティ高−サンプル基板厚 |
| サンプル基板 | 既定では石英るつぼ(内径>9 mm/厚さ0.5 mm) *ユーザーの使用ニーズに応じて他のユーザーに交換可能 |
| ロフト(Loft) | 上蓋を水平に引き出してサンプルを入れる |
| サンプルXY移動定規 | サンプルを密封空洞外から移動でき、分解能10μm、ストローク10 mm |
| 雰囲気制御 | 気密チャンバ、シールドガスを充填可能 |
| ヶーシング冷却 | 室温付近でケーシング温度を維持するために循環水を通すことができる |
| 取り付け方法 | 水平取付けまたは垂直取付け |
| テーブルサイズ/重量 | 159.7 mm x 86 mm x 22 mm/500g |
構成リスト:
| 基本構成 | HCS 621 GXY冷熱ステージ、mK 2000 B温度制御器 |
| オプション部品 | 冷熱台取付ブラケット、液体窒素冷凍システム、ケーシング循環水冷システム、、 真空システム(*真空モデル用) |
Instec温度制御装置用:温度制御部品
Instec冷熱テーブル、Instec温度制御プローブテーブル、Instec温度制御ウェハチャック、Instec冷熱平板、Instecカスタム温度制御装置を組み合わせて使用するために使用される。
温度制御部品シリーズ:
| 取付ブラケット:温度制御装置をユーザ機器に固定するためのもの |
| mK 2000 B温度制御器、InstecAPP温度制御ソフトウェアを含み、温度制御装置は必ず選択する |
| LN 2-SYS液体窒素冷凍システム:液体窒素ポンプ+液体窒素タンク+液体窒素ライン |
| 外殻循環水冷システム、パルプ式温度制御装置必須 |
| MITOシリーズの温度制御用顕微鏡カメラ、制御ソフトウェアを含む |
| LWDC 2長動作距離集光レンズ |
| 真空システム:真空ポンプ+真空管路を含み、真空型温度制御装置に用いる |