ボーススクリュー真空ポンプ修理

高効率回転子型線設計、真空度が高い、

·ポンプチャンバ内に潤滑油がなく、高清浄真空を実現する、

·ピッチロータの加工精度が高く、低騒音、高寿命を実現する。

·凝縮性蒸気、ほこり、腐食性などの多種のガスを吸引除去でき、ポンプキャビティ内に滞留することがなく、劣悪な応用の場合に適用できる、

·特殊な軸受設計で、振動が極めて低く、かつの起動信頼性、特に過酷なプロセスプロセスに適している、

·密封方式は、強い密封性能と超長寿命性を持っている、

·特殊なモーター、運行信頼性を高め、使用寿命を延長し、メンテナンスコストを下げる、

·

·構造設計はコンパクトで、部品が少なく、メンテナンスがしやすい。

製品アプリケーション

冶金

真空ろう付け、電子ビーム溶接、窒素炭素共浸透、低圧窒素浸透、低圧浸炭、化学気相浸漬、焼結、金属射出成形、精密鋳型鋳造、電気スラグ再溶融、真空誘導溶融、真空アーク精製、鋼液脱気など。

コーティング

巻取めっき膜、硬質めっき膜（CVD/DLC）、表面活性化、プラズマ溶射、ガラスめっき膜など。

乾燥

凍結乾燥、スリーブ充填、変圧器乾燥、配管乾燥、コンデンサ乾燥、リチウム電池乾燥など。

真空チャンバ排気

ガス回収/循環、真空チャンバの抽気など。

プラズマプロセス

プラズマ溶接、イオン浸炭、プラズマエッチング及びクリーニング、プラズマ洗浄など。

太陽光発電

単結晶シリコン引上げ、PV積層、LED製造など。

その他

贴合机设备等。