リニアベアリング型複合分子ポンプTG-Mシリーズ

リニアベアリング型複合分子ポンプTG-Mシリーズ

ターボ分子ポンプは多層ロータブレードとステータブレードからなる。下図に示すのは、羽根の角度及び回転方向の関係ガス分子が高真空側からポンプ内に入り、ロータ羽根に付着した後、マクスウェル分布に従って異なる方向に離脱する。しかし、ブレードの傾斜角度と回転により、分子は次の層に飛び込み、ステータブレードを通過してさらに下に降りやすくなる。同時に、下層から飛び込んで固定翼を通過した後に逆走するガス分子も、ロータ翼と衝突することで再び次の層に飛ぶことができる。羽根の角度は、上層のガス分子が通りやすい（排気方向の流れと逆流の差が大きい）角度であり、下層のガス分子が逆行しにくい（排気方向の流れと逆流の比較的大きい）角度である。分子流域では、ターボ分子ポンプは、このロータブレードとステータブレードを介して基本性能を発揮する

主な特徴

・油フリーの超真空環境

・機械式のガス分子排気（動的排気）は、すべてのガスに対してほぼ同じ排気速度

・希ガスや腐食性ガスの排出が可能

・大流量ガスの連続排出が可能

・動作可能な圧力範囲が広い。 (～10-10Pa）。

おおさかリニアベアリング型複合分子ポンプTG-Mシリーズ

リニアベアリングを使用してオイルフリーの排気を実現し、しかもメンテナンスサイクルが長い。排気速度300 L/s〜3400 L/sの製品を提供する。

三峡397メートル/三峡427メートル/三峡907メートル/三峡1307メートル

新型リニアモーター軸受型ターボ分子ポンプTG 397 M/TG 427 M/TG 907 M/TG 1307 Mの特長

• 省電力設計

• 動作データ、軸受接触回数、機種情報などは分子ポンプ本体に格納可能※保守時にコントローラを交換してもデータは移行可能

• 複数通信仕様（EtherCAT対応）

• 国際規格

• CE、SEMI-S 2、NRTL規格に準拠

  用途：

  
  

• 半導体製造装置

• FPD製造設備

• 太陽電池製造設備

• ガラス/レンズ等の光学部品の加工

• フィルム加工

• 加速器/宇宙環境実験装置

  技術パラメータ：

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