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上海市閔行区外環路352号B 108(201199)
上海伊豊精密機器有限公司
上海市閔行区外環路352号B 108(201199)
| 評価パラメータ | |
| 評価パラメータ | Ra、Rz、(Rmax、Ry)、Rt、Rp、Rpm、Rz(jis)、Rv、R3z、Rs m、Rsk、Rk、Rc、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2 |
| 測定範囲 | |
| Z軸 | 800μm |
| X軸 | 50mm |
| 直線度精度 | |
| 直線度精度 | 0.4μm |
| 解像度(Z軸) | |
| 解像度(Z軸) | 0.001μm |
| サンプル数/ぶんかいエネルギー | |
| サンプル数/分解エネルギー | 9600点/16 bit |
| フィルタ | |
| フィルタ | ガウス(Gaussian)フィルタ(ISO 11562:1996)、2 RCフィルタ |
| サンプリング長さ | |
| サンプリング長さ | λc ╳3、4、5、6、7(1.0-17.5mm) |
| カットオフ波長 | |
| カットオフ波長 | 0.25,0.8,2.5 |
| そくていそくど | |
| そくていそくど | 0.1mm/s,0.32mm/s,0.5mm/s |
| もどりそくど | |
| もどりそくど | (自動)1 mm/s |
| ひょうじごさ | |
| ひょうじごさ | ±5% |
| しじあんていせい | |
| しじあんていせい | 3% |
| 反復性の測定 | |
| 反復性の測定 | 3% |
| パターン倍率 | |
| パターン倍率 | 10-500000自動調整 |
| センサ | |
| センサ | 針先R=2μmダイヤモンド(測定力1 mN) |
| R=5μmダイヤモンド(測定力4 mN) |
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