MKS Baratron®シングルエンド圧力スイッチ

MKS Baratron®シングルエンド圧力スイッチ（41C）

41 Cシングルエンド10−26000 Torr圧力スイッチは真空／圧力プロセスに正確で信頼性の高い保護を提供する。これらのスイッチは、直流信号出力を必要としないアプリケーションのために設計され、リレー出力を提供し、警報器、バルブアクチュエータ、コンピュータ、プロセスコントローラ、ロードロック、その他の保護デバイスと容易に接続することができます。41 Cは基準大気圧である。トリガポイントは、現在の大気圧の下で、上、下（逆キャリブレーション）、またはちょうどトリガするように設定することができます。

l参照大気圧のシングルエンド構成

l優れた設定点精度と低ヒステリシス

l全金属、全溶接構造はステンレス鋼とインコネル®腐食に耐える

lスイッチリレーは、故障安全動作を実現するために、設定点より高いまたは低い電源投入に設定することができる

l高信頼性によるダウンタイムの削減

MKS Baratron®シングルエンド圧力スイッチ（41C）

技術仕様

特徴

Baratron® キャパシタンス圧力計技術

容量圧力計は電気機械圧力計であり、圧力と真空を測定することができる。キャパシタメータは、薄膜中の圧力変調運動を圧力に比例した電気信号に変換する。圧力センサは、入口管を介して測定された圧力または真空に曝された薄いダイヤフラムである。電極はダイアフラムの後ろの基準キャビティに取り付けられている。プロセスと基準チャンバとの間の圧力差は、ダイアフラムをわずかに偏向させ、ダイアフラムと電極との間の距離を変化させる。この距離の変化は、ダイアフラムと電極との間の容量変化をもたらし、圧力変化に比例した電気信号を生成する。容量信号の違いは圧力計内の物理的変化によるものであり、ガス特性の変化によるものではないため、容量圧力計の圧力測定は被測定ガスの成分とは無関係である。

基準大気圧

41 和42 真空/圧力スイッチは大気圧を参照する。これらは通常、ドアを開ける前に負荷ロック圧力と現地の大気圧のバランスを確保するために使用されます。MKS大気スイッチ上のトリガ点は、現在の大気圧の下で、より高く、より低く（逆キャリブレーション）、またはちょうどトリガするように設定することができます。

工場出荷時にジャンプポイントを設定する

リレートリップポイントが出荷時にフルレンジ圧力範囲に設定されている5%まで100%。これは、人員が設定点を調整する必要がなく、誤って調整された設定点によって安全上の問題が発生することもないことを意味します。

故障安全リレー動作

41、42、51 和52 スイッチ上のリレーモードは、設定点より高いまたは低いときに電源を入れるように設定することができます。機器の電源が切れると、リレーは常閉位置に切り替わります。ユーザは、常閉位置が設定点より高いか低いかを指示することができる。設定点より高い通電を例に、圧力がトリップ点より高い場合、リレーは常開位置にあり、圧力がトリップ点より低い場合、リレーは常閉位置にある。に対して“設定点未満で通電”オプションは、状況が正反対です。真空システムにおいて、故障安全操作とは、システムの電源が切れてリレーの電源が切れた場合、リレーが高圧状態と同じ状態になることを意味する。そのため、ほとんどの真空システムでは、リレーに圧力が低下したり、設定点未満になったりしたときに電源を入れる必要があります。

41B、42B、51B和52B真空および大気圧スイッチは機械式スイッチよりも高い精度を提供し、それにより、より厳格なプロセス制御と再現性を提供し、それによりスループットと生産量を向上させる。

9 針「D」型ピン配列

フライワイヤ配線