MEMSとナノテクノロジー

MEMSとナノテクノロジー

マイクロ電気機械システム（MEMS）は現在、圧力及び加速度センサ、微結晶レンズ表示装置及びマイクロ流体ポンプを含む多くの応用分野で使用されている。MEMS装置は、集積回路業界で使用されている製造技術を活用して、歯車、ダイヤフラム、結合梁などの機械部品を作成する。これらのすべての部材を正確に測定することは、低コストで高品質なMEMS装置の量産要件を満たすために重要である。

けいりょう

粗さ
MEMS装置内の粗さを正確に測定することにより、表面の相互作用を制御することができる。これらの相互作用がマイクロギアシステムにおける固体と固体の相互作用であるか、マイクロ流体ポンプにおける固体と液体の相互作用であるかにかかわらず。

ステップ高さ
MEMS装置の段差高さを監視することは重要な性能指標である。ステップ高さは横寸法情報とともに、デバイス内の個々の要素の基本発振周波数に影響を与える有効な質量近似値を提供することができる。

よこほうこうすんぽう
マイクロ歯車と流体系を定性的にする場合、横方向の寸法は特に重要である。体積と表面積、梁幅などの重要な寸法を正確に測定することで、*エンドデバイスの性能を制御するのに役立ちます。