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中国上海市徐匯区零陵路599号愛謙ビル707室
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上海納騰計器有限公司
概要
レーザ干渉リソグラフィ装置
製品詳細
VILシリーズナノグラフィックスシステム（レーザー干渉リソグラフィ）は高速再構成可能なビーム伝送、能動的なグラフィックス安定化、正確なサンプル位置決めなどの強大な機能を有する。このシステムは標準を使用することで2cm×2cm正方形またはユーザ定義形状のパターンフィールドを繰り返し露光し、8インチの大面積に様々なナノ構造、例えば1Dラスタラインと2Dポスト/穴パターン、周期240 nmまで1500 nm。
