実験室リソグラフィ装置

交渉可能更新01/22

オンラインコンサルト

概要

実験室フォトリソグラフィーパラメータ：1.露光面積：160 mm*160 mm。2.露光解像度：接触露光0.8 um−1 um。3.アライメント精度：1〜1.5 um。4.光源強度：35 mW/cm 2。5.UV光源：輸入LEDモジュール。

製品詳細

実験室リソグラフィ装置の製品パラメータ：

1.露光面積：160 mm*160 mm

2.露光解像度：接触露光0.8 um-1 um

3.アライメント精度：±1-1.5 um

4.光源強度：35 mW/cm 2

5.UV光源：インレットLEDモジュール

6.露光中心波長：365 nm

7.光源寿命：1万時間、光源平行性：≦2°

8.露光解像度：接触露光0.8 um-1 um

9.照度ムラ：≤3%

10.露出設定：タイミング

11.実行可能露光モード：真空接触、ハード接触、圧力接触、近接式

12.ギャップ設定方式：デジタル設定露光ギャップ0-1200 um

13.調整可能、自動分離とクリアランス除去可能

14.サンプル、マスク版の相対移動範囲：X：±5 mm、Y：±5 mm、0=±6°

15.マスク平坦化方式：ボールエアフロー自動平坦化

16.サポート可能マスクのサイズ：3'x 3'、4'x 4'、5'x 5'、7'x 7'各1点

17.標準搭載シートテーブル：2インチ、3インチ、4インチ、6インチ

18.標準部品の互換性のあるサンプル厚さ：0.1-5 mm、その他の寸法はカスタマイズ可能

19.アライメントシステム：光学＋CCD、顕微倍数：増幅倍率：150倍-720倍調整可能

20.デュアル対物レンズの調整可能距離範囲：30 mm-120 mm

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