LAUDA-Noah POU熱電プロセスサーモスタット：-20から90 Cの温度制御

LAUDA-Noah POU熱電プロセスサーモスタットは半導体業界で使用され、-20から90 Cまでの温度制御を提供する

過酷なプロセスの迅速かつ温度制御に対応

熱電オンライン使用（POU）温度制御システムはプラズマエッチングプロセスに安定した温度制御を提供する。静電チャック（ESC）の温度を系統的に動的に制御し、任意のエッチングプロセスで使用することができる。LAUDA−Noah POU熱電温度制御システムの設計の基礎はパルチェ素子の温度変化原理に基づく。これらの原本は迅速かつ正確な温度制御を実現でき、現在の生産サイズがますます小さくなっているデバイスの要求を満たすことができる。

重要な機能

低エネルギー消費圧縮機と冷媒のないシステム

工業分野は敷地が小さく、床下に置くと敷地スペースの要件がない

極めて低い熱伝導性液体充填量

標準アクセサリ

手動ポンプ付き給油タンク

オプションの添付ファイル

遠隔制御可能な通信モジュール（RS-485通信プロトコル）

LAUDA−Noah POUオンライン使用（POU）温度制御システムは圧縮機システムに比べて90%のエネルギーを節約できる。床の下に設置するオプションを選択することで、システムの敷地が小さくなり、クリーンルームのスペースが節約されます。