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メール
13967146609@126.com
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電話番号
13967146609
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アドレス
浙江省杭州市濱江区江南大道3778号A座3階
杭州科賦機電設備有限公司
13967146609@126.com
13967146609
浙江省杭州市濱江区江南大道3778号A座3階
革新 AFM技術、大サンプル検査性能
l超高分解能イメージング
lハイフラックスイメージング
ワークフローの最適化、ユーザーエクスペリエンスの向上
lプリマウントプローブ
l上面視と側面二重 CCDシステム
lインインテリジェント FFM-Topographyモード
豊富なアクセサリと拡張性
l複数の部品オプション
lその他の機能の拡張
革新的な設計理念、縦方向と横方向の解像度を大幅に向上
l最適化された構造設計の採用、効果的にシステムの剛性を高め、熱ドリフトの影響を低減し、ノイズレベルは25 pm未満である。
l優れた装備 LVDT位置センシング技術は、システムノイズを著しく低減し、長期的に安定した高分解能測定を維持し、繰り返し較正の需要を減少させる。
より高いテスト効率を実現
l最適化された電子および機械的帯域幅設計の採用走査速度は従来の大試料原子間力顕微鏡より大幅に向上し、同時に各種動作モードと部品への互換性を維持した。
l高速スキャン機能により画像収集時間が短縮されるだけでなく、応用方法も開拓されている。この機能は高分解能を維持しながら広範囲のサンプル検査を行うことをサポートし、多領域接合技術によってより大きなサンプルの完全な特徴付けを実現することができる。
ワークフローのシンプル化
lプリインストールプローブを用いた設計プローブ交換プロセスを簡略化する。
l全自動化設定による人手操作の大幅な削減をクリックして、マウスを軽くするとパラメータの最適化が完了します。
l多角度光学観察システムを搭載側面視と高品位上面視の2つのCCDシステムを含み、検出領域の迅速な位置決めに役立ちます。
操作が簡単、使いやすさが高い
lインテリジェントなワークフロー、パラメータ設定とデータ収集の自動最適化
lすべての動作モードは統一された設計理念に従い、自動化プロセスを通じてユーザーを導いて構成を完了させる。システムは技術的に実行可能な範囲内で全プロセス自動化処理を実現し、人工的に介入しなければならない段階に対してを使用すると、操作者が操作を円滑に完了するように、詳細な操作支援を提供します。
AutoPilotインテリジェントアルゴリズム、操作効率を向上
lAutoPolit機能は、タップモードと新しいFFM-Topographyモードの基本的なイメージングの最適化に重点を置いており、その他の高度なモードも大幅に簡略化されています。導電性原子間力顕微鏡(CAFM)、ケルビンプローブ顕微鏡(KPFM)、圧電力顕微鏡(PFM)、走査容量顕微鏡(SCM)など、より高度なモデルでも、今では豊富な経験を必要とせずに簡単に使用できます。
多点反復性検査プロセスの自動化
lユーザーが予め設定したサンプル座標位置に差異化スキャン方案を配置することをサポートする自動化テストモジュールは、工業品質検査分野に適用する(QA/QC),ウエハ表面堆積/エッチングプロセスの品質監視と表面形態特徴解析を含む。同時に科学研究シーンにおける反復性実験プロセスの自動化をサポートし、高速スキャン技術と協力して大サイズサンプルの系統的な検査に拡張することができる。