全自動イオンスパッタリング装置JY-S 120 A

高効率スパッタリング：高効率の低圧直流マグネトロンスパッタリング技術を採用し、めっき層粒子をきめ細かく均一にし、低温スパッタリングの同僚はサンプル表面への損傷を避けた。

ユーザーフレンドリーなインタフェース：タッチ式7型IPS液晶ディスプレイを搭載。インターフェースが便利で、プログラムをワンクリックで実行できます。

オペレーションの自動化：ワンクリック起動を設定でき、システムは自動的に真空引き、チャンバ洗浄、スパッタパラメータ調整とスパッタめっきなどの流れを完成することができる。めっき膜が完成したら、自動または手動の圧力放出を設定することができます。

：スパッタ電流はデジタル化制御を採用し、サンプル室内の気圧の影響を受けず、一致しためっき速度と理想的なめっき効果を得ることができる。

複数のターゲット互換性：金（Au）、金／パラジウム（Au／Pd）、パラジウム（Pd）、銀（Ag）、白金（Pt）及び白金／パラジウム（Pt／Pd）を含む多種の金属ターゲットを使用でき、ターゲットの交換が迅速で便利である。

システム監視：システムはリアルタイム曲線でスパッタ電流と動作真空度を表示することができる。同時に履歴記録機能を備え、スパッタ電流、スパッタ時間、動作圧力などを含む履歴運転プログラムログを見ることができる。

スキーマ・ストレージ：6つのプリセットスキームが組み込まれており、一般的なパラメータをカスタムスキームとして設定して保存し、ワンタッチで実行を呼び出すことができます。

音声メッセージ：スクリーンタッチ音のオン/オフができ、メッキ完了後に提示音を備える。

：ターゲットの使用時間と回数を記録することができます。