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上海納騰計器有限公司
概要
イオンビームエッチング/堆積システム
製品詳細
EIS-200はElionixが発売した電子サイクロトロン共鳴技術（ECR）に基づく小型イオンビームエッチングシステムであり、特に科学研究用イオンビームエッチング、薄化、洗浄、堆積などに適している。
EIS-200原理：
ECR技術を利用して高エネルギーAr+イオンビームを生成し、Ar+イオンビームは電界加速によりサンプル表面に到達し、サンプルに物理的な衝撃を与えてエッチング作用を達成する。
EIS-200次の利点があります。
159は方向性がよく、異方性があり、急勾配が高く、側面エッチングが少ない
159分解能が高い
159はエッチング材料に制限されず、石英などの材料をエッチングすることができる
159制御可能エッチングTaperかく
多様な実験条件を設定できるNPD（ナノパターン成膜ユニット
)
オプション（下図）
主な機能
ナノスケールパターンエッチング
高深アスペクト比エッチング
イオンビーム堆積
表面クリーニング
イオンげんすい
ぎじゅつりょく
適用＃テキヨウ＃ナノサイズパターンエッチング、高深度幅比エッチング、表面洗浄、イオン低減など
SiO2on Si substrate
Diamond
Substrate（ダイヤモンド）
