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上海市徐匯区漕宝路400号1603-1604室
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温度範囲-120℃~400℃温度安定性±0.05℃温度均一性±2%雰囲気保護、真空試料領域2寸~12寸メサ平坦度25 umメサ電位電気接地三同軸背電極オプション適合機器顕微鏡、分光計、手動プローブ台半自動プローブ台レーザー焼鈍適用領域材料、化学工業、半導体チップOLED光変温ウエハ試験