HoneywellセンサーAWM 40000シリーズ*

ネゴシエーション可能更新05/19

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概要

Honeywellハネウェル増幅ガス質量流量センサAWM 40000シリーズ、補償式または非補償式。#177;25.0 SCCM、1.0 SLPM、6.0 SLPM。アナログ出力。HoneywellセンサーAWM 40000シリーズ*。

製品詳細

Honeywellハネウェル増幅ガス質量流量センサAWM 40000シリーズ
補償式または非補償式。±25.0 SCCM、1.0 SLPM、6.0 SLPM。アナログ出力。

マイクロブリッジガス質量流量センサの動作原理は熱伝達である。ガス質量流量は、誘導を介してセンサ素子の表面を流れる。出力電圧は、パッケージ輸出入を流れる空気または他のガスの質量に比例する。特別に設計されたハウジングは、微細構造センシング要素を通る空気流を正確に案内し、制御する。パッケージの機械的設計により、プリント配線基板に容易に取り付けることができます。

マイクロブリッジガス質量流量センサには、*マイクロ構造技術に基づくシリコンチップが1枚含まれている。このチップは薄膜と断熱ブリッジ構造を採用し、ヒーターと温度センシング素子を内蔵している。ブリッジ構造は、チップを流れる空気または他のガス流に迅速かつ敏感に応答することができる。中心加熱要素の両側の二重センシング要素は、空気流が流れる方向と速度を示すこともできる。

マイクロブリッジガス質量流量センサは、窒化シリコン薄膜に包まれた熱抵抗を利用する。これらの抵抗は懸濁状態を呈し、シリコンウェハのエッチングチャンバの上方に2つの橋が形成されている。チップは正確な仕様の気流通路に配置され、繰り返し可能な流量応答を提供する。流量センシングブリッジの下でキャビティ、発熱器とセンシング抵抗をエッチングすることにより、効率的な熱隔離を実現することができる。マイクロブリッジガス質量流量センサの小型と熱隔離機能は、ガス流に対する極速応答と高感度を実現する。

ホイートストンブリッジ二重ブリッジ制御ガス流測定——1つは閉ループ発熱器制御を提供し、もう1つは二重誘導素子を含む。ヒータ回路は、質量流量に比例した出力を提供することにより、環境温度変化による出力変化を低減する。この回路はヒータの温度を環境温度（160°C）よりも一定の温度差で維持することができ、環境温度はチップ上の熱抵抗測定から分かる。センサの出力は電源電圧に比例し、ホイートストンブリッジ回路の差動電圧にも対応する。

注意
特定の用途で発生する可能性のある塵埃汚染の影響を低減する。設計により、気流中に存在する可能性のある塵粒はチップ表面と平行にチップを通過する。また、微細構造チップによる熱移動効果は、橋構造上のミクロン級塵粒を移動させることができる。

簡単なフィルターを使用して、チップの縁や通路の表面に粉塵が付着するのを防ぐことができます。ほとんどの用途では、空気流装置の上流側に使い捨ての5ミクロンフィルタを直列に接続すれば、十分なフィルタ効果が得られる。

注意：製品損傷
AWMシリーズマイクロブリッジガス質量流量センサは液体流量の測定には適用されず、液体がセンサを流れるとセンサが損傷する。

HoneywellセンサーAWM 40000シリーズ*供給する。

製品仕様

電源電圧：最小8.0 Vdc、典型値10.0 Vdc、最大15.0 Vdc

出力温度ドリフト：
±6%示度
±2.5%示度

信号調整：非増幅式（mV）。

調整点の出力電圧：
1000 sccm（1 SLPM）の場合54.7 mVdc±3.7 mVdc
25 sccmで8.5 mVdc±1.5 mVdc

動作温度：-40°Cから125°C[-40°Fから251°F]

衝撃：100 gピーク（5 drops，6 axes）

記憶温度：-40°Cから125°C[-40°Fから251°F]