Honeywell低流量センサHAFシリーズ

Honeywellハネウェル増幅ガス質量流量センサHAFシリーズ-低流量、補償式。10 SLPM〜300 SLPM。デジタル出力。

Honeywell低流量センサHAFシリーズ製品概要：

ハネウェルZephyr™ HAFシリーズセンサはフルレンジ流量範囲及び温度補償範囲内で読み取った気流データにデジタルインタフェースを提供する。断熱ヒータ及び温度感知素子は、センサが空気流又は他の空気流に迅速に応答するのを助けることができる。

Zephyrセンサは、空気及び他の非腐食性ガスの質量流量を測定することを目的とする。標準流量範囲は10 SLPM、15 SLPM、20 SLPM、50 SLPM、100 SLPM、200 SLPMまたは300 SLPMで、他にカスタマイズ可能な流量範囲があります。これらのセンサは、回路基板上の専用集積回路（ASIC）を用いて包括的な較正と温度補償を行う。

10 SLPMより大きいHAFシリーズは、較正された0°C〜50°C［32°F〜122°F］の温度範囲で補償される。ASICに基づく補償は、デジタル（I 2 C）出力と1 msの応答時間を実現することができる。

これらのセンサは熱伝達原理に基づいて気流の質量流量を測定する。これらは熱抵抗微小ブリッジを含むマイコン電気センサシステム（MEMS）からなり、薄膜白金抵抗は窒化ケイ素薄膜上に堆積した。MEMSセンシングチップは精密に設計された気流通路内に位置し、流量に対する反復可能な応答を提供する。

Zephyrセンサは、お客様に信頼性、高精度、繰り返し測定可能などの性能を向上させることができ、多くの具体的なアプリケーション要件を満たすためにセンサをカスタマイズすることができます。堅牢なシェルと安定した基板を組み合わせることで、これらの製品は極めて堅牢で耐久性があります。それらの設計と製造はISO 9001規格に適合している。

Honeywell低流量センサHAFシリーズの基礎パラメータは以下の通り：

ポートタイプ：

ファセットマウント
ISO 1179に準拠したG 3/8雌ねじ継手

記憶温度：-40°Cから100°C[-40°Fから212°F]
応答時間：標準値1 ms
補償温度範囲：0°Cから50°C［32°Fから122°F］
信号調整：&nbsp ;拡大
媒体互換性：乾燥ガスのみ。
消費電力：最大60 mWから最大200 mW
電源電圧：3 Vdcから10 Vdc

流量/圧力範囲：
0 SLPM至 300 SLPM
0 SLPM至 15 SLPM
0 SLPM至 100 SLPM
0 SLPM到 20 SLPM
0 SLPM至 200 SLPM
0 SLPM至 50 SLPM
0 SLPM至 10 SLPM

動作温度：-20°Cから70°C[-4°Fから158°F]

モデル例：HAFBLF 0750 C 4 AX 5

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