- メール
- 電話番号
-
アドレス
北京市順義区金関北二街旭輝空港センターC-1035
製品カテゴリー
北京漢達森機械技術有限公司
概要
Hellmaドイツ合成フッ化カルシウム（CaFタンタル）光学結晶Hellma（ドイツ）合成フッ化カルシウム（CaFタンタル）は立方晶系、高純度単結晶/多結晶であり、主に深紫外-赤外超広幅透過、低分散、高レーザ耐久性であり、半導体リソグラフィ、高出力レーザ光と赤外光のコア材料である。
製品詳細
Hellmaドイツ合成フッ化カルシウム（CaFガリウム）光学結晶
Hellma（ドイツ）合成フッ化カルシウム（CaFガリウム）は、立方晶系、高純度単結晶/多結晶、タイトル深紫外−赤外超広幅透過、低分散、高レーザ耐久性は、半導体リソグラフィ、高出力レーザ光と赤外光のコア材料である。
一、基本物理と化学属性
かがくしき：CaFガリウム（フッ化カルシウム）
けっしょうこうぞう：立方晶系、（111）劈開面
密度みつど：3.18 g/立方センチメートル
ゆうかいてん：1418℃
ねつでんどうりつ：9.71 W/（m·K）@20°C
熱膨張係数（CTE）：18.9×10⁻⁶ /K@20°C
溶解度（水、20°C）：0.016 g/L（極難溶）
二、光学性能（コア）
透過帯域：130 nm（深紫外）～9μm（中赤外）、VUV/DV/可視光/赤外の全帯域をカバーする。
内部透過率（10 mm厚）：
紫外線（193/248 nm）：>99.0%
相対湿度:>92%
赤外スペクトル（3 ~ 5μm）：＞90%
屈折率（nd@587.6 nm）：1.43384（低屈折率、光路歪みが小さい）
アッベ数（νd）：95.23（極低分散、消色差に優れている）
屈折率均一性(@633 nm)：≦0.5 ppm/3 ~ 20 ppm（標準）
応力複屈折(@633 nm)：≦0.5 nm/cm/1 ~ 50 nm/cm（標準）
非線形屈折率（n₂@1064 nm）：1.9×10µcm²/W（極低、高出力レーザー安定）
屈折率温度係数（dn/dT）：
@193ナノメートル：-3.2×10⁻⁶ /K
@248ナノメートル：−6.9×10⁻⁶ /K
三、レーザー耐久性（リソグラフィーレベルの重要指標）
適用波長：157 nm、193 nm、248 nmエキシマレーザー
レーザ損傷閾値（LDT）：>10 J/cm²@193 nm（10 nsパルス）
ちょうきあんていせい：深紫外リソグラフィ環境下低欠陥、低老化、適応7 nm及び以下のプロセス
四、サイズとカスタム仕様
最大サイズ：
単結晶：直径≦250 mm、厚さ≦150 mm
多結晶：直径≦440 mm、厚さ≦150 mm
結晶方位：＜111＞（デフォルト）、＜100＞、ランダム配向
ひょうめんしつりょう：研磨、研磨（λ/10、λ/20）、超精密研磨
公差（こうさ）：直径/長さ±0.1 mm、厚さ±0.05 mm（より高精度にカスタマイズ可能）
五、材料等級
UV 级（193～400ナノメートル）：屈折率均一性≦1 ppm、複屈折≦1 nm/cm、用193 nmリソグラフィ対物レンズ。
DUV級（157-193 nm）：超高均一性（≦0.5 ppm）、極低複屈折（≦0.5 nm/cm）、適合157 nmリソグラフィ。
VISレベル（400～780 nm）：可視光イメージング、顕微鏡用の標準均一性（3〜5 ppm）。
IR 级（0.78～9ミクロン）：赤外線透過最適化、用途赤外線窓、熱イメージング、分光計。
六、核心優勢
超広幅透過：130 nm–9 μm，1つの材料がマルチバンドの需要をカバーする。
極低分散：アッベ数95.23、色消し能力が強く、結像鋭さが高い。
高レーザ耐性：193/248 nmエキシマレーザーを配合し、長期安定で損傷がない。
高均一性：屈折率の均一性は0.5 ppmに達し、ビームの一致性は優れている。
大口径調製：単結晶250 mm、多結晶440 mm、大型光学系の需要を満たす。
七、典型的な応用
半導体:193 nm/248 nmリソグラフィ対物レンズ、照明システム。
レーザー：高出力レーザーウィンドウ、ビームスプリッタ、レンズ（157〜1064 nm）。
赤外線：赤外線サーモグラフィウィンドウ、分光計素子、天文望遠鏡レンズ。
科学研究：真空紫外（VUV）光学、高エネルギー放射環境窓。
Hellmaドイツ合成フッ化カルシウム（CaFガリウム）光学結晶
