Hellmaフッ化カルシウム（CaFガリウム）LD−A材料の高透過率

Hellmaフッ化カルシウム（CaFガリウム）LD−A材料の高透過率

Hellmaフッ化カルシウムLD-Aモデルコア技術の利点

193 nm深紫外帯専用最適化、超高透過率と低吸収損失

Hellma CaFタンパLD−A材料は193 nm ArFエキシマレーザバンド配向に対して開発された高純度光学級材料であり、深紫外領域に備えられた光学輸送性能である。従来の光学ガラス、石英材料は193 nm帯で強い吸収と透過率減衰が現れ、レーザー伝送とリソグラフィーイメージングの需要を満たすことができないが、LD-A型フッ化カルシウム単結晶は193 nmで透過率が90%以上に達することができ、吸収係数は極めて低く、レーザーエネルギー損失と熱蓄積はほとんど発生しない。材料は紫外帯域専属アニール、不純物除去、格子最適化処理を経て、色芯、空孔、金属イオンなどによる紫外吸収の欠陥を除去し、高出力紫外レーザー連続照射下で色褪せず、損傷せず、光学性能を変えないことを保証し、193 nmリソグラフィシステム、レーザー洗浄、紫外スペクトル検出システムの理想的な基材である。

高品質単結晶構造と＜111＞優結晶配向、光学均一性業界

単結晶構造は屈折率の均一な一致を保証し、光線伝送過程における散乱、歪み、スポットの離散を回避し、イメージング精度とレーザー伝送品質を保証することができる。

同時に製品は＜111＞結晶方位を採用し、これはフッ化カルシウム材料が深紫外レーザー応用において大量に検証された優方位である。＜111＞結晶面は最高の構造対称性、低い複屈折率、優れた応力分布特性を備え、レーザ誘起損傷閾値（LIDT）感受性を著しく低下させ、素子の高出力レーザ衝撃抵抗能力を向上させることができる、高温、高圧、強レーザ放射環境下では、＜111＞配向の格子構造はより安定しており、応力亀裂、屈折率歪み、複屈折増大などの問題は現れず、光学系の長期安定運転ハンダソンyds呉亜男を保証する。

Hellmaフッ化カルシウム（CaFガリウム）LD−A材料の高透過率