製品紹介:全自動シリコン超音波洗浄機は主に上料台、洗浄部分、移載ロボット、回転機構、換気システム及び電気制御部分から構成される。製品説明:1.この装置は全自動の処理装置です。 2.10.4インチ大型タッチスクリーン表示/検出
全自動シリコンウェハ超音波洗浄機は主に上料台、洗浄部分、移載ロボット、回転機構、換気システム及び電気制御部分から構成される。
製品の説明:
1.この装置は全自動の処理装置です。
2.10.4インチ大型タッチスクリーンの表示/検出/操作。
3.洗浄作業はオムロン系列PLCが制御する。
4.洗浄作業員はワークを充填した洗浄かごを供給台に置き、洗浄かごは設定されたプログラムに基づいて、自動的に各ステーションに順次送り、ワークを洗浄、すすぎ、すすぎ後のワークはチェーンから下ステーションに送り、チェーンから送り、田畑後は作業員が洗浄かごを取り出す。
被洗浄物:
シリコン材料の多結晶辺皮、トップ材料、シート材料、ガリウム底材料及び原生多結晶材料など。