全自動四プローブテスタ

ネゴシエーション可能更新05/06

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概要

全自動四プローブテスターこの設備は四点プローブ法とASTM標準を採用し、全自動化測定システムを搭載し、抵抗率、ブロック抵抗及び材料厚さを正確に測定することができる。専門のPCソフトウェアを搭載し、データ収集、2 D/3 Dスペクトル生成とレポート導出をサポートし、プローブ圧力とテストモードは柔軟に調整でき、半導体、ナノ材料、電子デバイスなどの分野の検査需要に適している。

製品詳細

一、製品の概要

ROOKOリコマイクロFT-3110全自動四プローブテスタ材料抵抗測定のために設計された精密機器であり、融合した測定技術と知能操作機能は、科学研究実験と工業生産のために安定で信頼性のある測定ソリューションを提供する。計器はタングステン鋼材質プローブを採用し、機械移動率≦0.3%で、試験データの正確性と繰り返し性を確保する。

二、コア機能

測定パラメータ：同時に抵抗率、ブロック抵抗、材料厚さなどの重要な指標を測定でき、多次元検査の需要を満たす。
自動化操作：自動正/負電流出力と電圧測定をサポートし、単点、五点、面走査などの多種の試験モードに対応し、試験点数は自由に設定できる。
データ処理：専門V 4.0分析ソフトウェアはデータ収集、統計分析、単位換算を実現でき、2 D/3 Dスキャンスペクトルと詳細テスト報告書を生成し、データ導出と印刷をサポートする。
柔軟な適合：プローブ圧力調整可能範囲100-500 g、載置台は2-12寸円形ウエハと153 mm×153 mmカスタムパッチを支持し、異なる規格サンプルを適合する。
安全防護：制限レンジ保護、圧力保護、急停止機能及び異常警報を備え、操作の安全と設備の安定を保障する。

三、技術パラメータ

仕様項目	技術指標
ブロック抵抗	10^-5～2×10^5Ω/□（FT-3110A）10^-6～2×10^5Ω/□（FT-3110B）
抵抗率	10^-5～2×10^5Ω-cm（FT-3110A）10^-6～2×10^5Ω-cm（FT-3110B）
テスト電流	0.1μA-100mA（FT-3110A）0.1μA-1A（FT-3110B）
抵抗精度	≦0.3%（標準抵抗）
単一点反復性	≤0.5%
電源パラメータ	AC 220 V±10%、50 Hz、消費電力＜600 W

四、適用分野

半導体材料：ウエハ、半導体基板、選択的エミッタ拡散シート、電気銅めっき抵抗など、
新規材料：強誘電材料、ナノ材料、アモルファスシリコン/微結晶シリコン材料など、
電子部品：太陽電池、LCD、OLED、タッチパネルなど、
科学研究と生産：大学実験室、科学研究院所の材料分析、電子製造業の品質検査。

五、構成リスト

標準配置：本体1台、試験線1セット、直線型四プローブプローブ1個、金めっきばね銅針とばねタングステン針各1セット、分析ソフトウェア1セット、計量証明書1部、
オプション部品：2-12インチウェハサンプル台、カスタム仕様プローブ、パソコン+プリンタ、1-3年延長保証サービス。

六、製品優勢

ROOKOリコマイクロFT-3110全自動四プローブテスタ幅広いレンジ測定、高精度データ、インテリジェント化操作と広範な適合性により、材料抵抗検出分野の好ましい設備となっている。計器は厳格な品質検査を通じて、13%増値税専用領収書を提供し、専門的な技術サポートとアフターサービスを組み合わせて、全過程で設備の安定運行を保障する。

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