全自動ウェハ超音波洗浄機

全自動ウェハ超音波洗浄機石英ウェハ、治具、シリコンウェハ、サファイアウェハ、光学ウェハなどを洗浄するための装置であり、環状構造設計、全自動プロセス、タッチスクリーンPLC制御を採用し、操作が簡便で、大量の人力を節約でき、コストを節約でき、企業に大きな利益をもたらす。

主な特徴：

三菱、台達、シーメンスなどの輸入部品を採用している。

主な機能：超音波洗浄機、加熱温度制御、時間制御、循環濾過、周波数変換速度調整など。

超音波周波数は多種の周波数を採用する：例えば：28 KHz、40 KHz、150 KHz。

オールステンレス設計で、外形が美しく、操作が便利です。

洗浄槽のサイズは、ユーザのニーズに応じて決定することができる。

洗浄ワーク：石英ウェハ、シリコンウェハ、電子部品など。
洗浄目的：油の除去、汚れの除去。
ロボットハンドが伝動し、タクトが調整できる。

全自動ウェハ超音波洗浄機洗浄原理：超音波発生器から発せられた高周波超音波振動信号は、変換器を介して高周波機械振動に変換されて媒質に伝播する――洗浄溶媒中で、洗浄溶媒中の超音波の「キャビテーション作用」を利用して、液体を流動させて数万の小さな泡を発生させ、これらの泡は超音波の縦方向に伝播された負圧域で形成、成長し、正圧域で急速に破裂する。これは、このような「キャビテーション」効果と呼ばれる偏屈な都市では、泡破裂が1000気圧を超える瞬間高圧を発生し、連続的に発生する瞬間高圧が一連の小さな「爆発」を発生して被洗浄物の表面、孔、隙間スリットは、物品の表面及び隙間の汚れを迅速にはがすことにより、被洗浄物品の浄化を目的としている。そのため、超音波による洗浄は品質が良く、速度が速い。一般的な通常の洗浄方法に対して、洗浄度の要求を達成することができ、特に幾何形状が比較的に複雑で、各種の小孔、曲げ孔、盲孔などの被洗浄物体を持ち、超音波を利用して洗浄する洗浄効果はより明らかである。