- メール
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電話
13806216898
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住所
蘇州工業園区唯亭鎮通和路66号
製品分類
蘇州天弘レーザー株式会社
概要
全自動紫外両面溝切り機
製品詳細
製品特徴：
しばらく
仕様パラメータ：
| 技術仕様 | TH-8212 |
| レーザ | 華日/SP紫外線ナノ秒15 W |
| かこうそくど | 2000-3000mm/s |
| 運用分野 | ウェハ表面スロットリソグラフィ |
| 上下送り方式 | 全自動モジュール |
| スクライブ速度 | 2000-3000mm/s |
| 位置合わせ方式 | 輪郭配置/テンプレートマッチング |
| しかくしょり | グレーマッチング |
| X軸移動範囲 | 280mm |
| Y軸移動範囲 | 180mm |
| θじく | 360deg |
| スロット深さ | ≤10um |
| エッジバリ | ≤5um |
| プラットフォーム水平度 | 5-15um |
| レーザ | 華日/SP紫外線ナノ秒15 W |
