膜厚測定器

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モデル

製造者の性質: プロデューサー

製品カテゴリー

原産地

オンラインコンサルト

概要

膜厚測定器

製品詳細

KLAのFilmetricsシリーズは分光反射技術を利用して薄膜厚の正確な測定を実現し、その測定範囲はnm-mmから、例えばレジスト、酸化物、シリコンあるいはその他の半導体膜、有機薄膜、導電性透明薄膜などの膜厚の正確な測定を実現でき、半導体、マイクロ電子、生物医学などの分野に広く応用されている。FilmetricsはF 10-HC、F 20、F 32、F 40、F 50、F 60-tなど多くの製品を持ち、数mmから450 mmの大きさのサンプルを測定することができ、フィルムの厚さ測定範囲は1 nmからmm級である。Filmetrics F 10-RTは真空めっき膜を設計目標とし、マウスをクリックするだけで反射と透過スペクトルを得ることができる。ハードウェア構成を変更する手間をかける必要はありません。F 10-RT-UVはマウスをクリックするだけで反射と透過スペクトルを同時に収集することができ、1秒未満でアレイの分光計は迅速に資料を収集することができます。また、Filmetrics専用のAutobseline設計により、基準キャリブレーションのパラメータ読み取り時間を10倍以上削減できます。従来の価格のほんの一部で、ユーザーは最低/最高分析を行い、FWHMを確定し、色分析を行うことができます。オプションの厚さと屈折率モジュールにより、Filmetrics F 10の解析能力を活用できます。測定結果は迅速にエクスポートされ、印刷されます。