フェムト秒レーザーライト

フェムト秒レーザーライトFSD：フェムト秒レーザによる多種類の硬脆性体材料中の高精度なパターン化加工に集中する。三次元ベクトル経路の全ストローク速度、エネルギーリアルタイム変調加工能力を備える。スポット整形を加工する能力を備え、任意の図形を導入することによる材料表面または内部の3次元と2次元加工をサポートする。

フェムト秒レーザーライトFSD設定パラメータ

フェムト秒レーザ：

1）平均電力：20 W/10 W/6 W

2）繰り返し周波数：1 Hz ~ 1 MHz調整可能

3）最小パルス幅：＜300 fs

4）最大単一パルスエネルギー：200μJ@1 KHz、1030 nm（他のモードはオプション）

5）中心波長：1030 nm

6）2倍周波数出力波長：515 nm

7）三倍周波数出力波長：343 nm（オプション）

光学系：

1）エネルギー調整器：調整範囲は0.5%~ 99%をカバーする

2）照明モジュール：反射コーラー照明/透過コーラー照明

3）撮像カメラ：500万画素以上

4）対物レンズ：60×油浸漬対物レンズ、20×空気対物レンズ。（他の対物レンズはオプション）

5）オプション機能モジュール：走査振動子、空間光変調器、焦点面自動追跡モジュール、2次元電動スリット

多機能ワークステーション：

1）三点式二次元レベリング：単点調節範囲≧5 mm、単点調節解像度≦50 nm

2）大面積サンプル加工ステーション：透明ガラス吸着台、4インチサンプル加工を支持する

3）光ファイバ格子加工ステーション：有効加工範囲、10 mmより大きい

4）オプション機能モジュール：光ファイバ回転器、光ファイバ応力モニタ

高精度変位テーブル：

1）X/Y/Z三軸ストローク：≥200 mm×200 mm×20 mm

2）X/Y/Z軸位置決め精度：≤±300 nm

3）X/Y/Z軸双方向繰り返し精度：≤±100 nm

4）最大変位速度：≧100 mm/s（X/Y軸）、≧50 mm/s（Z軸）

構造フレーム:

1）大理石竜門構造

2）受動エアフローティング防振

自動巻取り機：

1）リール長：＞5 km

2）巻繊速度：0.5 m/s

3）張力制御精度：＜0.5 g

4）メーター精度：＜2‰

5）自動アライメント精度：＜1μm

2.加工パラメータ：

表面加工特徴線幅：＜200 nm

導波路加工損失：＜0.5 dB/cm

ファイバグレーティング加工反射率：0.001%~ 90%調整可能

ファイバグレーティング加工エッジモード抑制比：＞18 dB

ファイバグレーティング加工の典型的な3 db帯域幅：0.2 nm

光ファイバ格子加工中心の波長偏差：≤±0.3 nm