FT-3120シリーズ半自動四プローブテスタ

交渉可能更新01/09

モデル

製造者の性質: プロデューサー

製品カテゴリー

原産地

オンラインコンサルト

概要

機能説明：4点プローブ標準試験方法、ステッピングシステムを用いてプローブとサンプルの接触を自動制御し、人為的要素が試験結果に与える影響を減少する、参照A.S.T.M規格、ブロック抵抗、抵抗率、導電性データ、PCソフトウェア収集とデータ処理を測定して自動点測定モードまたは手動点測定モードを実現し、同じ位置の繰り返し試験または多点の面抵抗測定、報告書出力データ統計分析、標準的なキャリブレーション抵抗体を提供する.FT-3120シリーズ半自動四プローブテスタ

製品詳細

詳細な説明

一.機能の説明：

4点プローブ標準試験方法は、ステッピングシステムを用いてプローブとサンプルの接触を自動的に制御し、人為的な要素が試験結果に与える影響を減少する、参照A.S.T.M規格、ブロック抵抗、抵抗率、導電性データ、PCソフトウェア収集とデータ処理を測定して自動点測定モードまたは手動点測定モードを実現し、同じ位置の繰り返し試験または多点の面抵抗測定、レポート出力データ統計解析;標準キャリブレーション抵抗体を提供する.

FT-3120シリーズ半自動四プローブテスタ

二.適用範囲：

ウエハ、アモルファスシリコン/微結晶シリコンと導電膜の抵抗率測定、選択エミッタ拡散シート、表面不動態化シート、クロスフィンガーPN接合拡散シート、*電極設計、例えば銅めっき抵抗測定など、半導体材料分析、強誘電材料、ナノ材料、太陽電池、LCD，OLED，タッチパネルなど.

FT-3120シリーズ半自動四プローブテスタ

3・技術パラメータ：

規格型番	FT-3120A	FT-3120B	FT-3120C	FT-3120D
1.抵抗	10^-3～2×10^4Ω	10^-5～2×10^5Ω	10^-6～2×10^5Ω	10-4～1×107Ω
2.ブロック抵抗	10^-3～2×10^4Ω/□	10^-5～2×10^5Ω/□	10^-6～2×10^5Ω/□	10-4～1×107Ω/□
3.抵抗率	10^-4～2×10^5Ω-cm	10^-6～2×10^6Ω-cm	10-7～2×106Ω-cm	10-5～2×108Ω-cm
4.テスト電流	0.1μA.μA.0μA，100µA，1mA， 10mA，100mA		1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA	10mA ---200pA
5.電流精度	±0.1%			±2%
6.抵抗精度	≤0.3%			≤10%
7.PCソフトウェアの操作	PCソフトウェアインタフェース：抵抗、抵抗率、導電率、角抵抗、温度、単位換算、電流、電圧、プローブ形状、プローブピッチ、厚さ、データ管理分析：プロセスデータ、大、小値、平均値、分散、変異係数、サンプル番号、テスト点数統計レポート生成など
8.プローブ範囲：	プローブ圧力は100 ~ 550 g、サンプル接触に応じて手動で調整する必要がある
9.探査ピン本	針間絶縁抵抗：≧1000MΩ；機械移動率：≦0.3% まるあたまどうめっきめっきマテリアル、プローブ間隔1mm；2mm；3 mmオプション、その他の仕様はカスタマイズ可能
10.そくていウェハ寸法すんぽうオプション	ウェハサイズ：2～12インチ（6インチ150mm，12インチ300mm）；正方形片：大から156 mmX 156 mmまたは125 mmX 125 mm
11.分析モード	自動または手動シングルポイントパターン＃パターン＃
12・加圧方式	測定重複性：重複性≦3%
13・安全防護	制限レンジと圧力保護を有する、誤操作と急停止防護、例外アラーム
14.テスト環境	実験室環境
15・電源	入力:AC 220V±10%.50 Hz消費電力：<100W
16・購入項目	コンピュータとプリンタ

類似製品推奨