FT-3100シリーズ全自動四プローブテスタ

交渉可能更新01/09

モデル

製造者の性質: プロデューサー

製品カテゴリー

原産地

オンラインコンサルト

概要

FT-3100シリーズ全自動四プローブテスタ

製品詳細

詳細な説明

機能の説明：

4点プローブ法、全自動運転測定システム、PCソフトウェア収集とデータ処理、参照A.S.T.M標準方法半導体材料の抵抗率とブロック抵抗を試験する、プローブ圧力値、テスト点数、多種の測定モードの選択を設定することができる、真空環境、表示可能：角抵抗、抵抗率、表示2 D、3 Dスキャン/数値図、温湿度値、標準キャリブレーション抵抗体を提供する・レポート出力データ統計解析.

FT-3100シリーズ全自動四プローブテスタ

二.適用範囲

ウエハ、アモルファスシリコン/微結晶シリコンと導電膜の抵抗率測定、選択エミッタ拡散シート、表面不動態化シート、クロスフィンガーPN接合拡散シート、*電極設計、例えば銅めっき抵抗測定など、半導体材料分析、強誘電材料、ナノ材料、太陽電池、LCD，OLED，タッチパネルなど.

3・技術パラメータ：

規格型番	FT-3110A	FT-3110B
1.抵抗	10^-5～2×10^5Ω	10^-6～2×10^5Ω
2.ブロック抵抗	10^-5～2×10^5Ω/□	10^-6～2×10^5Ω/□
3.抵抗率	10^-6～2×10^6Ω-cm	10-7～2×106Ω-cm
4.テスト電流	0.1μA.μA.0μA，100µA，1mA， 10mA，100mA	1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA
5.電流精度	±0.1%
6.抵抗精度	≤0.3%
7.PCソフトウェアの操作	PCソフトウェアインタフェース：抵抗、抵抗率、導電率、角抵抗、温度、単位換算、電流、電圧、プローブ形状、プローブピッチ、厚さ、2D、3Dスペクトル、圧力、レポート生成など
8.圧力範囲：	プローブ圧力調整可能範囲：ソフトウェア制御、100-500g調整可能
9.探査ピン本	針間絶縁抵抗：≧1000MΩ；機械移動率：≦0.3% まるあたまどうめっきめっきマテリアル、プローブ間隔1mm；2mm；3 mmオプション、その他の仕様はカスタマイズ可能
10.そくていウェハ寸法すんぽうオプション	ウェハサイズ：2～12インチ（6インチ150mm，12インチ300mm）；正方形片：大から156 mmX 156 mmまたは125 mmX 125 mm
11.分析モード	単一点、5点、9点、多点、直径走査、面走査などのモードの自動試験
12・加圧方式	測定重複性：重複性≦3%
13・安全防護	制限レンジと圧力保護を有する、誤操作と急停止防護、例外アラーム
14.テスト環境	しんくう
15・電源	入力:AC 220V±10%.50 Hz消費電力：<100W
16・購入項目	コンピュータとプリンタ

FT-3110系列全自动四探针测试仪

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