FIB銅網Lift-Outキャリア

FIBサンプルに積載するために、FIB銅網Lift-OutキャリアサンプルをTEMに移して観察するのに便利です。これらの載置網は標準的な3 mm直径であるが、その内部構造は特殊な設計を経ており、通常はTEM載置網の半分しかなく、2、3、4、5以上の「柱」を有している。シートはFIBによってこれらの柱に「溶接」されたものである。

• 銅載網：最も一般的な選択。表面が滑らかで、溶接しやすい。しかし、サンプル自体に銅が含まれている場合、または銅元素のEDS分析が必要な場合、銅載置網を使用すると信号干渉を引き起こす。

  
  

• モリブデンキャリア：銅汚染を避ける必要がある場合、FIBモリブデンキャリアは理想的な代替品である。銅よりも頑丈です。

  
  

• シリコンキャリアネットワーク：主に半導体装置の分析に用いられる。FIBキャリアとサンプルマトリックスはすべてシリコンであるため、それらのイオンビームミリング速度は近く、外部の金属元素汚染を導入することはなく、高純度の元素分析に最適である。

• 炭素担持網：純炭素で作られたFIB担持網は、金属のない背景を提供し、軽元素に敏感な分析に適している。